[发明专利]一种用于具有曲面结构的金属制品表面蚀刻加工方法有效

专利信息
申请号: 201310178586.6 申请日: 2013-05-14
公开(公告)号: CN103266323A 公开(公告)日: 2013-08-28
发明(设计)人: 郭钟宁;黄红光;宋卿;王冠;张永俊;李玉祥 申请(专利权)人: 广东工业大学
主分类号: C23F1/02 分类号: C23F1/02
代理公司: 广州三环专利代理有限公司 44202 代理人: 颜希文;宋静娜
地址: 510006 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 具有 曲面 结构 金属制品 表面 蚀刻 加工 方法
【权利要求书】:

1.一种用于具有曲面结构的金属制品表面蚀刻加工方法,其特征在于,包含以下步骤:

(1)掩膜:在金属制品的平面和曲面上分别涂覆多个正方形耐腐蚀胶,所述金属制品平面上以及金属制品平面与曲面结合处相邻两个耐腐蚀胶之间的间隙宽度均为耐腐蚀胶边长的1/4~1/3,所述金属制品曲面上相邻两个耐腐腐蚀胶之间的间隙宽度从金属制品平面与曲面的结合处到金属制品曲面的边缘逐渐增大,所述金属制品曲面边缘处相邻两个耐腐蚀胶之间的间隙宽度为耐腐蚀胶边长的1/2~1/1;

(2)遮挡:用耐腐蚀遮挡物将金属制品的曲面上方遮挡;

(3)初次蚀刻:将遮挡后的金属制品放在蚀刻机中进行初次蚀刻,从蚀刻机喷嘴中喷出的蚀刻液a的压力为0.3~1.8psi,蚀刻时间3~10min;

(4)脱膜:将初次蚀刻后的金属制品清洗脱膜,并将遮挡金属制品曲面部分的耐腐蚀遮挡物去掉;

(5)再次蚀刻:将脱膜处理后的金属制品再放到蚀刻机中进行再次蚀刻,从蚀刻机喷嘴中喷出的蚀刻液a的压力为0.1~0.8psi,蚀刻时间2~6min;

(6)浸泡:对再次蚀刻后的金属制品进行清洗,然后放到蚀刻液b中浸泡,浸泡时间0.5~2min;

(7)后处理:将经过步骤(6)处理后的金属制品清洗,并去除金属制品表面的杂质。

2.如权利要求1所述的用于具有曲面结构的金属制品表面蚀刻加工方法,其特征在于,所述步骤(1)中耐腐蚀胶的厚度为10~40μm。

3.如权利要求1所述的蚀刻方法,其特征在于,所述步骤(2)中耐腐蚀遮挡物黏贴或卡扣在金属制品曲面部分的上方。

4.如权利要求1所述的用于具有曲面结构的金属制品表面蚀刻加工方法,其特征在于,所述步骤(3)中从蚀刻机喷嘴中喷出的蚀刻液a的压力为0.6~1.2psi,蚀刻时间4~8min。

5.如权利要求1或4所述的用于具有曲面结构的金属制品表面蚀刻加工方法,其特征在于,所述步骤(3)初次蚀刻后金属制品表面蚀刻宽度为蚀刻前未掩膜宽度的1.5~2倍。

6.如权利要求1所述的用于具有曲面结构的金属制品表面蚀刻加工方法,其特征在于,所述步骤(4)采用碱性溶液对初次蚀刻后的金属制品进行脱膜处理。

7.如权利要求6所述的用于具有曲面结构的金属制品表面蚀刻加工方法,其特征在于,所述碱性溶液为NaOH溶液。

8.如权利要求1所述的蚀刻方法,其特征在于,所述步骤(5)中从蚀刻机喷嘴中喷出的蚀刻液a的压力为0.3~0.6psi,蚀刻时间2~4min。

9.如权利要求1所述的蚀刻方法,其特征在于,所述步骤(3)和(5)中的蚀刻液a含有FeCl3、水和NaCl,其中FeCl3、水和NaCl的质量比为5~35:35:1。

10.如权利要求1所述的蚀刻方法,其特征在于,所述步骤(6)中的蚀刻液b含有HNO3、FeCl3、水和NaCl,其中HNO3、FeCl3、水和NaCl的质量比为5~35:5~35:35:1。

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