[发明专利]一种节能型控温热台及其恒温控制方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种节能型控温热台及其恒温控制方法，属于节能领域。

背景技术

在微电子器件和光电子器件制造过程中，匀胶、光刻工艺是非常关键的环节，光刻胶通过一定的温度烘烤而进行坚膜；在使用乙醇或丙酮煮沸清洗晶片，磨片前晶片与磨头之间的熔蜡粘贴，化工材料的低温硫化处理等都需要在干净的稳定低温环境下完成。

传统的加热烘烤使用普通低温烘箱、普通电热板或者电炉盘，他们都存在严重的缺陷，有的工艺效果差、有的使用不方便、有的极大浪费能源：

（1）普通低温烘箱体积和内部容积太大，升温速度慢；空间大，消耗电能多而且空间内的温度均匀性差，频繁开启/关闭烘箱门，导致箱内的温度波动很大，非常不利于晶片光刻工艺坚膜的稳定；

（2）普通电热板及电炉盘存在明火，使用时不安全，由于其表面裸露的缘故，在加热时大量的热量向四周散发，造成很大的能源浪费，温度无法严格控制，也不稳定。

发明内容

本发明针对现有技术存在的不足，提供一种实用化的长效、灵活方便、性能优良并且节能的小型自动控温热台及其恒温控制方法，解决了普通烘箱升温慢、普通电热板温度控制不稳定的问题。

本发明解决上述技术问题的技术方案如下：一种节能型控温热台，包括自上而下依次连接的保温盒盖、加热腔体及电控操作盒，所述加热腔体内部设有一个加热器及一个均热板，所述加热器的上表面与所述均热板的下表面紧密连接，所述加热器的下表面的空腔内填充有隔热保温材料，所述电控操作盒上设有自动闭环控制调节器、加热开关、电源开关及保险器。

本发明的有益效果是：本发明升温快、温度调节快，控制精度高，温度均匀性好，大大提高了热效能，减少了热损失；使用方便可靠而且范围广。

在上述技术方案的基础上，本发明还可以做如下改进。

进一步的，所述电控操作盒的底部还设有一个底护板，所述底护板与所述电控操作盒为螺装连接，所述底护板的底面四周设有四个橡胶支脚。

采用上述进一步方案的有益效果是，能够保证节能型控温热台稳固在所需位臵，防止因特殊情况下，节能型控温热台的移位。

进一步的，所述加热腔体与所述电控操作盒之间设有用于隔热的聚四氟乙烯板。

采用上述进一步方案的有益效果是，能够保证加热腔体与电控操作盒之间有较大的温度梯度，保证了电控操作盒内部电子元器件的使用环境温度不超过允许的温度界限。

进一步的，所述保温盒盖、加热腔体及电控操作盒的外壳为不锈钢材质。

采用上述进一步方案的有益效果是，不锈钢材质具有一定的防腐、防锈能力，可以放臵在半导体工艺厂房内的任何位臵。

进一步的，所述均热板的上表面与所述加热腔体采用无毒的非金属隔热板条连接，所述非金属隔热板条的一边用支架支撑，另一边与均热板螺装连接。

采用上述进一步方案的有益效果是，能够防止均热板上的热量传至加热腔体表面，从而有效的减少热损失，而且采用无毒的非金属板条能够保证在受热情况下无有毒物质散发出来。

进一步的，所述均热板为方盘凹形均热板。

采用上述进一步方案的有益效果是，凹形的均热板能够保证均热板与保温盒盖内侧面之间形成一个大面积、小高度的恒温腔，大大提高了热效能。

进一步的，所述保温盒盖上设有一个手柄。

采用上述进一步方案的有益效果是，方便保温盒盖的开启与闭合。

一种用节能型控温热台实现恒温控制方法，其方法步骤如下：

（1）打开节能型控温热台电源开关，设定需要升至的温度；

（2）打开加热开关，当温度升至设定温度值的1/3-1/2时，关闭加热

开关，临时停止主回路加热，此时自动闭环控制调节器仍然显示升温状态；

（3）利用热惯性及加热器的余热维持继续升温，由于保温性能好，能在极短的时间内使恒温腔内的温度到达设定值，当温度达到设定温度值后，自动闭环控制调节器开始恒温调节工作，节能型控温热台便很快进入了自动控温状态。

本发明方法的有益效果是：避免了过度的温度过冲现象，缩短了进入恒温的调节时间，有效的节省了电能。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

其中，1、保温盒盖；2、加热腔体；3、电控操作盒；3-1、自动闭环控制调节器；3-2、加热开关；3-3、保险器；3-4、电源开关；4、加热器；5、均热板；6、隔热保温材料；7、底护板；8、橡胶支脚；9、聚四氟乙烯板；10、手柄；11、非金属隔热板条；12、支架。