[发明专利]308nm无极准分子灯

说明书

技术领域

本发明属电光学领域，涉及一种通过微波激励放电发光的准分子灯，具体涉及准分子灯管的气体组成及气压参数。

背景技术

受激准分子灯目前广泛应用于半导体集成电路、液晶显示面板和印刷线路板等电子部件的制造工序中的紫外线曝光装置等中，但是现在进入实用状态的大都是高压电场激发光的准分子灯，例如专利公开号CN1494105A的(受激准分子灯)，专利公开号CN101164136A的(准分子灯)等。

由于受激准分子灯的成本过高，限制了它的大规模使用，因此现在国内外也有不少院校及科研机构、企业在开发新型准分子发光系统，如复旦大学专利公告号为1713338A的(190nm、207nm准分子微波无极放电灯及应用)，以及本人的专利号为ZL200810216783.1的(无极准分子灯)等。

我们在技术研发中发现，308nm的准分子光源用途较为广泛，目前在医疗行业主要用来治疗皮肤病，而且在印刷行业中，由于对油墨的感光性较365nm波长的紫外光要好，油墨干燥速度更快，因此，如果能开发出这个波段的无极准分子灯，一定会有很广泛的应用前景。

发明内容

因此，本发明是为了开发更高效的308nm的准分子光源，本发明的目的在于提供一种可采用微波方式激励的308nm波段的无极准分子光源。

本发明的308nm无极准分子灯，其包括有微波发生源，波导系统，谐振腔系统，无极灯管等，通过微波的激励作用激励灯管内气体放电发光，其特征在于：该无极灯管内充填着氯化氙气体，混合气体总压强为2～20Torr，Xe∶Cl₂为20∶1～50∶1。

308nm波段准分子紫外光形成过程如下：

在微波电磁场的作用下，e+Xe→Xe^*(氙气原子与电子发生碰撞激发)

                  e+Xe→Xe⁺(氙气原子与电子发生碰撞电离)

               e+Cl₂→Cl+Cl^-(氯气分子分解为氯原子和氯离子)

              Xe⁺+Cl₂→XeCl^*+Cl(Harpooning反应形成XeCl^*)

             Xe⁺+Cl^-+M→XeCl^*+M(三体碰撞形成XeCl^*，M代表

                              参加三体碰撞的分子或原子)

              XeCl^*→Xe+Cl+hv(XeCl^*分解为原子，同时辐射

                             308nm波段紫外光)

XeCl^*准分子光谱的峰值在308nm处，另外在236nm及345nm处也有微弱辐射。

附图说明

图1为本发明的结构图

图2为本发明的A向放大图。

图3为XeCl^*准分子紫外辐射光谱

符号说明

12：固定板；14：接头；15：无极灯管；17：圆筒形网孔板；18：波导腔；19：耦合口。

具体实施案例

参照附图，其中图1为本发明的结构图，图2为本发明的A向放大图，图3为XeCl*准分子紫外辐射光谱图，本发明是通过如下方式进行实施的，微波源产生微波后，微波通过波导腔18的耦合口19进入谐振腔，激励无极灯管15内的放电用气体受激发生准分子紫外光，灯管内充填着氯化氙气体。

谐振腔由波导腔18的底板及圆筒形网孔板17组合而成，网孔板采用可反射微波的铝、银或不锈钢等材料制成，网孔板开口率大于70％。

无极灯管15材质采用脱羟透明石英玻璃，二氧化硅纯度大于99.9％，灯管全长约1200mm，管内径约为16mm。

固定板12的材质采用TEFION、石英玻璃、陶瓷或其它不吸收微波的材料。