[发明专利]一种用于凸锥镜加工的对刀定心方法

说明书

技术领域

本发明涉及光刻机的凸锥镜加工技术领域，具体是一种用于圆头磨轮加工凸锥镜的对刀定心方法。

背景技术

图1是待加工的凸锥镜后的技术要求，具体是：（1）在干涉仪上用632.8mm波长测量面型，要求：面1≤N2，RMS≤N8,面2≤N3，RMS≤N15；（2）表面粗糙度<1nm；（3）锥镜轴线与面A垂直度为0.05。图2是现有技术中采用宝石刀具对刀情况，其加工结果不能满足高精度光刻机的需要。图3是采用圆头磨轮对椎体进行磨削时对刀定中心，当加工如下图3所示椎体零件时，对刀原理已经和传统的宝石车刀不尽相同，因为该圆头磨轮由无数的颗粒粘接在一起，当用专业放大镜进行查看时将会看到无数的尖端，所以无法进行圆弧拟合。

发明内容

本发明的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种用于凸锥镜加工的对刀定心方法，解决圆头磨轮和椎体镜进行对刀定中心的难题。

本发明的技术解决方案如下：

一种用于凸锥镜加工的对刀定心方法，其特点在于，该方法包括如下步骤：

①制作锥顶有圆弧的有机玻璃锥镜粗胚，该有机玻璃锥镜粗胚的底部直径、锥顶到底面高度分别与待加工凸锥镜的底部直径、锥顶到底面高度相等；

②对步骤①得到的有机玻璃锥镜粗胚进行磨削，使锥顶的圆弧半径R小于5mm；

③对步骤②得到的磨削后有机玻璃锥镜，利用三坐标和轮廓仪进行顶端圆弧大小的测量以及椎体的对称直线度度的测量：

当锥顶的圆弧R<5mm且椎体的对称直线度小于1μm时，则认为对心成功，调换上待加工凸锥镜进行正式磨削处理，

否则返回步骤②继续对有机玻璃锥镜粗胚进行磨削。

与现有技术相比，本发明的技术效果如下：

1)解决了镀金刚砂磨轮以及有粗糙面刀具对刀的问题；

2)解决了椎体镜对刀难的问题；

3)解决了宝石车床对刀第二次校准的问题。

4)提高了凸锥镜的加工成功了，节约了浪费，避免了返工等操作。

附图说明

图1是待加工凸锥镜的示意图。

图2是现有技术中采用宝石刀具对刀的示意图。

图3是采用圆头磨轮对椎体进行磨削时对刀定中心的示意图。

图4是有机玻璃锥镜粗胚进行磨削时对刀定中心的示意图。

图中：1—待加工的椎体镜，2—宝石车刀，3—磨头，4—有机玻璃锥镜粗胚。

具体实施方式

下面结合实施例和附图对本发明作进一步说明，但不应以此限制本发明的保护范围。

一种用于凸锥镜加工的对刀定心方法，包括如下步骤：

①制作锥顶有圆弧的有机玻璃锥镜粗胚，该有机玻璃锥镜粗胚的底部直径、锥顶到底面高度分别与待加工凸锥镜的底部直径、锥顶到底面高度相等；

②对步骤①得到的有机玻璃锥镜粗胚进行磨削，使锥顶的圆弧半径R小于5mm；

③对步骤②得到的磨削后有机玻璃锥镜，利用三坐标和轮廓仪进行顶端圆弧大小的测量以及椎体的对称直线度度的测量：

当锥顶的圆弧R<5mm且椎体的对称直线度小于1μm时，则认为磨头对心成功，调换上待加工凸锥镜进行正式一般磨削处理，使其满足如下技术要求：

（1）在干涉仪上用632.8mm波长测量面型，要求：面1≤N2，RMS≤N8,面2≤N3，RMS≤N15;

（2）表面粗糙度<1nm；

（3）锥镜轴线与面A垂直度为0.05。

当锥顶的圆弧不满足R<5mm且椎体的对称直线度不小于1μm时，否则返回步骤②继续对有机玻璃锥镜粗胚进行磨削。

经试用表明，本发明解决了椎体镜对刀难、宝石车床对刀第二次校准的等问题，提高了凸锥镜的加工成功了，节约了浪费，避免了返工等操作。