[发明专利]堆叠管芯之间的螺旋形螺旋电感器

权利要求书

1.一种多层集成电感器，包括：

第一电感结构，包括设置在第一集成芯片(IC)管芯上的第一导电层；

第二电感结构，包括设置在第二IC管芯上的第二导电层，所述第二IC管芯垂直堆叠在所述第一IC管芯上；以及

导电互连结构，垂直设置在所述第一IC管芯和所述第二IC管芯之间且被配置成电连接所述第一导电层和所述第二导电层。

2.根据权利要求1所述的多层集成电感器，其中，所述导电互连结构包括一个或多个微凸块或铜柱。

3.根据权利要求1所述的多层集成电感器，其中，所述导电互连结构包括铁酸盐化合物。

4.根据权利要求1所述的多层集成电感器，进一步包括：

底部填充层，设置在所述第一导电层和所述第二导电层之间且被配置成围绕所述导电互连结构。

5.根据权利要求1所述的多层集成电感器，其中，

所述第一电感结构包括绕着第一轴线卷绕第一多匝的螺旋图案，所述第一轴线垂直于所述第一IC管芯；并且

所述第二电感结构包括绕着第二轴线卷绕第二多匝的螺旋图案，所述第二轴线垂直于所述第二IC管芯。

6.根据权利要求5所述的多层集成电感器，其中，所述第一轴线和所述第二轴线以非零偏移量相分离。

7.根据权利要求1所述的多层集成电感器，进一步包括：

第三电感结构，包括垂直堆叠在所述第二IC管芯上的第三IC管芯上的第三导电层；以及

第二导电互连结构，垂直位于所述第二IC管芯和所述第三IC管芯之间且被配置成电连接所述第二导电层和所述第三导电层。

8.根据权利要求1所述的多层集成电感器，其中，

所述第一电感结构包括第一蜿蜒图案，所述第一蜿蜒图案沿着其长度在第一方向上卷绕、随后在与所述第一方向相反的第二方向上卷绕；并且

所述第二电感结构包括第二蜿蜒图案，所述第二蜿蜒图案沿着其长度在第一方向上卷绕、随后在与所述第一方向相反的第二方向上卷绕。

9.一种多层集成电感器，包括：

第一电感结构，包括在第一集成芯片(IC)管芯的第一面上设置为第一螺旋图案的第一金属层；

第二电感结构，包括在第二IC管芯的第一面上设置为第二螺旋图案的第二金属层，所述第二IC管芯的第一面面向第一IC管芯的第一面；以及

导电互连结构，垂直设置在所述第一IC管芯和所述第二IC管芯之间且被配置成电连接所述第一金属层和所述第二金属层。

10.一种形成多层集成电感器的方法，包括：

在第一集成芯片(IC)管芯的第一面上形成第一电感结构；

在第二IC管芯的第一面上形成第二电感结构；以及

通过将所述第一电感结构和所述第二电感结构电连接的导电互连结构将所述第一IC管芯的第一面与所述第二IC管芯的第一面相连接。