[发明专利]惯性力传感器

权利要求书

1.一种惯性力传感器，其具备：

用于对相互正交的X轴、Y轴、Z轴检测惯性力的检测元件，

所述检测元件具有支承部和两个第1正交臂，

所述第1正交臂具有一端与所述支承部连接的第1臂、和从所述第1臂的另一端向实质上与所述第1臂正交的方向分支的两个第2臂，

所述第2臂具有将所述第2臂弯折的弯折部，

所述第1臂和所述支承部实质上配置在同一直线上，

所述第2臂向Y轴方向驱动振动，

通过检测在X轴方向产生的科里奥利力来检测绕Z轴的角速度，

通过检测在Z轴方向产生的科里奥利力来检测绕X轴的角速度。

2.根据权利要求1所述的惯性力传感器，其中：

所述第2臂在所述弯折部处弯折，且与所述第1臂相向。

3.根据权利要求2所述的惯性力传感器，其中：

所述第1臂和所述支承部实质上配置在同一直线上。

4.根据权利要求1所述的惯性力传感器，其中：

通过探测所述第1臂或者所述第2臂的变形来检测加速度。

5.根据权利要求1所述的惯性力传感器，其中：

所述检测元件还具备在所述第2臂的端部上形成的锤部。

6.根据权利要求1所述的惯性力传感器，其中：

所述第2臂的端部被弯折成蜿蜒状。

7.根据权利要求1所述的惯性力传感器，其中：

所述检测元件还具有两个固定用臂，所述固定用臂连结于所述支承部，且固定在安装着所述检测元件的安装基板上，

所述固定用臂是第2正交臂，其具有第3臂和第4臂，并将所述第3臂与所述第4臂在实质上正交的方向上连结形成，

所述第3臂由所述支承部支承，

所述固定用臂由所述第4臂固定在所述安装基板上。