[发明专利]圆筒式成膜装置有效
| 申请号： | 201310161256.6 | 申请日： | 2013-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN103230858A | 公开（公告）日： | 2013-08-07 |
| 发明（设计）人： | 王俊;王高中;张赛锋;张晓燕;董宁宁;张龙 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | B05C3/10 | 分类号： | B05C3/10 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 圆筒 式成膜 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种圆筒式成膜装置，其特征在于包括一个敞口式的圆筒式腔体（1）、一个圆形衬底（6）、第一提拉勾（2）、第二提拉勾（3）和具有孔（4）的圆盘形盖（5），所述的圆筒式腔体（1）的内壁和内底设有相对的第一凹槽（7）和第二凹槽（8），所述的第一凹槽（7）和第二凹槽（8）分别用于安放第一提拉勾（2）和第二提拉勾（3），所述的圆形衬底（6）的表面粗糙度低于3nm/(1mm×1mm)，所述的圆形衬底（6）外径比圆筒式腔体（1）的内径小0.05mm到1mm，所述的圆形衬底（6）水平地置于所述的圆筒式腔体（1）内底和所述的第一提拉勾（2）和第二提拉勾（3）上，所述的圆盘形盖（5）盖在所述的圆筒式腔体（1）的口上。
2.如权利要求1所述的圆筒式成膜装置，其特征在于所述的圆筒式腔体为钢、铁、铜、铝或铝合金材料中的一种制成。
3.如权利要求1所述的圆筒式成膜装置，其特征在于所述的圆形衬底为玻璃或石英制成。
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