[发明专利]一种磁致伸缩生物传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种磁致伸缩生物传感器，其特征在于：包括Fe-Ga合金材料（1）、附着于Fe-Ga合金材料（1）表面的铬层（2）、以及附着于铬层（2）外表面的金层（3）。

2.根据权利要求1所述的磁致伸缩生物传感器，其特征在于：Fe、Ga在Fe-Ga合金材料（1）中的质量百分比为83%、17%。

3.根据权利要求1所述的磁致伸缩生物传感器，其特征在于：Fe-Ga合金材料（1）厚度为50μm，铬层2和金层3的厚度为150nm。

4.权利要求1或2或3所述的磁致伸缩生物传感器的制备方法，其特征在于包括步骤：（1）在硅衬底（4）上点上光刻胶（5），（2）在基底上依次溅射一层金和铬，再在气压为7×10^-7托的环境下，在铬层上溅射Fe-Ga合金，再依次在Fe-Ga合金上表面依次溅射第二层金属铬和金，（3）用丙酮溶液洗去光刻胶（5），剥离基底，（4）将磁致伸缩传感器放入马弗炉中高温800℃加热2小时进行高温退火。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于：剥离基底后，避光静置于巯基乙醇溶液中24h进行修饰，修饰后再进行高温退火。