[发明专利]模具及模具镀膜方法在审
| 申请号： | 201310158119.7 | 申请日： | 2013-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN104129017A | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 许嘉麟 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B29C33/38 | 分类号： | B29C33/38;C23C16/30;B29C45/26 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 模具 镀膜 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种模具镀膜方法，包括如下步骤：
将模具置于真空腔中，所述模具具有模穴；
加热所述模具至预定温度；
向所述真空腔中交替通入三甲基铝和氧气，以在所述模穴表面形成氧化铝薄膜；
对所述模具进行处理以增加所述氧化铝薄膜表面的羟基密度；
加热所述模具并将所述模具置于六甲基二硅氮烷的蒸汽中，使得在所述模穴表面生成六甲基二硅氮烷和氧化铝复合纳米薄膜以对所述氧化铝薄膜的表面进行改性。
2.如权利要求1所述的模具镀膜方法，其特征在于，所述真空腔的压力为 -托。
3.如权利要求1所述的模具镀膜方法，其特征在于，所述预定温度为250度。
4.如权利要求1所述的模具镀膜方法，其特征在于，将所述模具置于去离子水中以对氧化铝薄膜进行处理以增加羟基密度。
5.如权利要求4所述的模具镀膜方法，其特征在于，所述去离子水为纯水或乙醇。
6.如权利要求1所述的模具镀膜方法，其特征在于，所述氧化铝薄膜的厚度为100纳米。
7.一种模具，具有模穴，其特征在于，所述模穴表面具有六甲基二硅氮烷和氧化铝复合薄膜。
8.如权利要求7所述的模具，其特征在于，所述氧化铝薄膜的厚度为100纳米。
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