[发明专利]一种具有全桥微梁结构的压阻式加速度传感器

权利要求书

1.一种具有全桥微梁结构的压阻式加速度传感器，包括框架、悬臂梁、微梁和质量块，其特征在于：所述悬臂梁处于质量块对称轴线上；所述微梁共有四个，以悬臂梁所在轴线为轴对称地分布于质量块边缘，连接质量块与框架。

2.如权利要求1所述具有全桥微梁结构的压阻式加速度传感器，其特征在于：所述四个微梁均通过扩散或者离子注入在其上形成压敏电阻，四个压敏电阻通过导线连接形成惠斯顿全桥电路。

3.如权利要求1或2所述具有全桥微梁结构的压阻式加速度传感器，其特征在于：所述四个微梁上的压敏电阻分别为R1、R2、R3、R4，其中R1和R2在质量块连接悬臂梁的一侧对称分布，R3和R4在质量块上下左右四侧的任意位置以悬臂梁所在轴线为轴对称分布。