[发明专利]CIGS薄膜太阳能电池硒化物的制备方法有效
| 申请号: | 201310153682.5 | 申请日: | 2013-04-28 | 
| 公开(公告)号: | CN103236472A | 公开(公告)日: | 2013-08-07 | 
| 发明(设计)人: | 陈进中;吴伯增;伍祥武;林东东;甘振英;谢元锋;吕宏 | 申请(专利权)人: | 柳州百韧特先进材料有限公司 | 
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 | 
| 代理公司: | 广州凯东知识产权代理有限公司 44259 | 代理人: | 姚迎新 | 
| 地址: | 545006 广西壮族自治区*** | 国省代码: | 广西;45 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | cigs 薄膜 太阳能电池 硒化物 制备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种CIGS薄膜太阳能电池吸收层,具体说是吸收层用硒化物材料的制备方法。
背景技术
CuInSe2,Cu(InGa)Se2等作为光吸收层、具有抗辐射、性能稳定的特点,可以制备成成本较低的太阳能薄膜电池,适合民用。其制备方法目前比较成熟的是一般采用先溅射后硒化或硫化工艺,这种方法不能保证薄膜成分和厚度的均匀性,而且硒化工艺涉及剧毒硒化物或硫化物,在制备过程中对设备要求较高。为了简化工艺和降低成本,美国学者利用CuInGaSe靶材,通过一步溅射的方法制备CIGS光吸收层,这种工艺大大简化了制备流程,能够精确控制薄膜成分和厚度,使硒化工艺简化甚至取消。目前,使用Cu2Se、In2Se3、Ga2Se3靶材合成薄膜太阳能电池吸收层是个可行的方法。
因此,Cu2Se、In2Se3、Ga2Se3粉末合金成为制备相应薄膜太阳能电池吸收层靶材的关键材料。但在合金制备过程中容易造成Se 的大量挥发和Se 在合金表面的漂浮,使其不能完全与合金融合,难以形成一体化合金;还有硒与Ga、In 发生剧烈的化学反应,制备工艺设计不合理,容易造成设备的毁坏、环境的污染和硒的损失。因此,控制Se 的挥发和Se 在合金中的均匀分布,是难点也是关键。现有的公开号为CN 101645473 B、名称为“薄膜太阳能电池吸收层用硒化物材料的制备方法”的中国发明专利基本解决了上述问题,本发明是在该专利的基础上作的进一步改进。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种使Se 在合金中分布更加均匀的CIGS薄膜太阳能电池硒化物的制备方法。
本发明采用的技术方案为:CIGS薄膜太阳能电池硒化物的制备方法,该硒化物为Cu2Sex或M2Sey,其中M为In、Ga 中的一种元素,x的取值为0.95~1.05,y的取值为2.8~3.2,包括以下步骤:
(1)首先将Cu、In、Ga中的一种置于一容器的上层加温区,按配比要求将Se置于该容器的下层加温区,在小于10-2Pa真空度条件下封闭容器或者在充入低于大气压力的氩气、氮气或氦气的条件下封闭容器;
(2)然后对上层加温区以10~20℃ /min 的升温速率、按照最后调整到高于材料熔点的温度分为2~5段升温恒温,每个温度段温度为(-30~30)℃ +最后调整到高于材料熔点的温度/(2~5)+1,恒温时间分别为1~2 小时,接着将温度调整到高于材料熔点的温度,材料熔化后流入下层加温区,待材料全部流出后停止加热;在对上层加温区进行加温的同时,对下层加温区也以10~ 20℃ /min 的升温速率、按照最后调整到高于Se沸点的温度对应分为2~5段升温恒温,每个温度段温度为(-30~30)℃ +最后调整到的高于Se沸点的温度/(2~5)+1,恒温时间分别为1~2小时;在实施过程中,上层、下层加温区的加温时间应对应,即上层加温区根据材料熔点的不同,采用不同的温度段,而且下层加温区应最好采用与上层加温区相同数量的温度段,恒温时间也最好相同;对Se采用梯度升温后,将温度调整到高于Se沸点温度,使得气态的Se向上运动,其与向下运动的材料形成对流,从而充分混合,直至上层加温区的材料全部流入下层加温区;最后,停止对上层加温区加温,并将下层加温区的温度调整到高于材料熔点或沸点的温度,保温2小时~10小时,随后在8 小时内缓慢冷却到室温,将制备的块体从容器内取出后球磨,将粉末筛分,得到粉末产品;
(3)将制备出的粉末放入热压炉模具中在500℃~ 900℃、30MPa~300MPa 压制后按需要的尺寸加工即得到所需的块体靶材。
作为优选,步骤(1)中选取Cu 时,其与Se的摩尔比为Cu Se=2∶0.95~1.05。
作为优选,步骤(1)中选取M 时,其与Se的摩尔比为M∶Se=2∶2.8~3.2。
作为优选,步骤(2)中高于In或Ga熔点的温度为500℃ ~ 800℃。
作为优选,步骤(2)中高于Cu熔点或Se沸点的温度为950℃~ 1250℃。
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