[发明专利]氢等离子体辅助氢化制备黑色二氧化钛的方法

权利要求书

1.一种氢等离子体辅助氢化制备黑色二氧化钛的方法，其特征在于，所述方法包括：

将二氧化钛置于密闭系统，抽真空使所述密闭系统的压力小于30Pa；

向所述密闭系统通入氢气和氩气的混合气氛；

加热所述二氧化钛，调节所述混合气氛的流量以使所述密闭系统中的压力为50～500pa；

开启射频电源以产生活性氢等离子体处理所述二氧化钛规定的时间，其中利用所述射频电源电离氢气分子以产生活性氢等离子体用于还原所述二氧化钛而得到黑色二氧化钛。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述射频电源的功率为50～500W。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述射频电源的功率为100～300W。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的方法，其特征在于，加热所述二氧化钛至100～600℃。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，加热所述二氧化钛至300～500℃。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的方法，其特征在于，所述规定的时间为2～12小时。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的方法，其特征在于，调节所述混合气氛的流量以使所述密闭系统中的压力为100～300pa。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的方法，其特征在于，所述混合气氛中氩气和氢气摩尔比为（0～20）：1。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的方法，其特征在于，在所述密闭系统通入氢气和氩气的混合气氛之前，预先通入所述混合气氛并抽真空以排出所述密闭系统中残留的氧气。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的方法，其特征在于，所述二氧化钛包括二氧化钛粉体和二氧化钛薄膜，其中所述二氧化钛粉体的微观形态包括球、棒、带、管和不规则多边形中的一种或几种的组合，所述二氧化钛薄膜包括通过溶胶-凝胶法、丝网印刷法、 激光化学气相沉积法、水热结晶法、电泳法、磁控溅射法中的一种或几种的组合制备的二氧化钛薄膜。