[发明专利]可控制密封件压缩量的闸阀

说明书

技术领域

本发明涉及以电动方式进行开闭动作的闸阀，本发明特别是可优选地用于可控制密封件压缩量的闸阀。

背景技术

在过去，作为为了将半导体制造装置等的真空室内部维持在真空状态而使用的闸阀，人们提出了各种方案。

比如，在专利文献1（JP特开2009—24787号文献）中，记载有下述的闸阀，在该闸阀中，在具有气体通路的外壳的内部，接纳圆形的阀板（阀体），并且在该外壳中，设置驱动器，该驱动器具有与上述阀板连接的轴与驱动该轴的促动器，通过该驱动器，直线地移动上述阀板，将上述气体通路开闭，比如，设置在半导体制造装置中的真空腔和排气泵之间，使将该真空腔和排气泵连接的上述气体通路开闭。即，专利文献1的闸阀通过电动方式，进行开闭动作。另外，在上述专利文献1中记载到，上述促动器可通过电动马达、通过该电动马达旋转的滚珠丝杆和与该滚珠丝杆啮合的滚珠丝杆螺母形成。

另外，在专利文献2（JP特开2007—309337号文献）中记载有了下述的闸阀，该闸阀包括阀箱（外壳）；阀体组件，该阀体组件接纳在该阀箱内部，进行分别开设于阀箱的面对的位置的开口的开闭；作为第1驱动器的第1驱动缸，该第1驱动缸进行该阀体组件的开闭动作；作为第2驱动器的第2驱动缸，该第2驱动缸进行阀体组件的密封动作，在上述阀箱中形成有开口，第1驱动缸和第2驱动缸按照独立地进行上述阀体组件的开闭动作和密封动作的方式通过系统的控制器而控制。另外在该专利文献2中记载到，将空气从空气源，供向上述各驱动缸，该各驱动缸的驱动缸杆动作，在阀体组件上设置比如，密封圈等的密封环（密封件）。

此外，在上述各专利文献的闸阀中，相对设置于阀箱中的阀座，阀体以面对方式设置，上述驱动器在上述阀座方向驱动上述阀体，将密封件按压于该阀座上，使该密封件处于压缩状态，由此，确保阀体和阀座内外的气密状态。在下面将该气密状态的确保简称为密封。

发明内容

采用上述闸阀的制造装置，在产品生产制造中（在下面简称为“生产中”）只要隔绝经由该闸阀的真空室内的生产气体的侵入即可，与对于维持真空室内的真空状态来说必要的密封件的压缩量相比较，生产中的密封件的压缩量也可减少。按照该方案，可通过在生产中降低密封件的压缩量，抑制该密封件的劣化，延长密封件的寿命。

但是，在上述各专利文献中记载的闸阀中，由于密封件的压缩量与生产中无关，无法控制，故密封件的压缩量即使在生产中，仍为对于维持真空室内的真空状态来说必要的密封件的压缩量，无法抑制该密封件的劣化，无法延长密封件的寿命。

本发明的目的在于提供一种闸阀，其中，可通过在生产中和真空状态维持中的相应的状态，控制密封件的压缩量，抑制密封件的劣化，延长密封件的寿命。

用于解决课题的技术方案

本发明的闸阀涉及下述的闸阀，在该闸阀中，相对阀座，阀体按照面对的方式设置，驱动器在上述阀座方向驱动上述阀体，将密封件按压于该阀座上，使其处于压缩状态，由此进行密封，其特征在于上述驱动器由伺服马达和促动器构成，该促动器与上述阀体连接，将来自该伺服马达的旋转力变换为直线动作，驱动上述阀体，在上述驱动器上连接有控制器，该控制器由该装置控制组件和保存机构构成，该装置控制组件发出由装置的生产中关闭指令和完全关闭指令构成的指令中的任何的指令，该保存机构保存生产中关闭位置数据和完全关闭位置数据，上述控制器从上述装置控制组件，接受由装置的生产中关闭指令和完全关闭指令构成的指令中的任何的指令，参照保存于上述保存机构中的生产中关闭位置数据或完全关闭位置数据，形成生产中关闭位置信号或完全关闭位置信号，上述伺服马达接受生产中关闭位置信号或完全关闭位置信号，将与这些信号相对应的伺服马达的旋转力变换为上述促动器的动作，上述密封件通过对应于生产中关闭指令或完全关闭指令而动作的上述阀体，按压于上述阀座上，作为压缩状态而维持。

另外，本发明的闸阀的特征在于在与完全关闭位置相对应的上述密封件的压缩状态，该密封件的压缩量大，在与生产中关闭位置相对应的上述密封件的压缩状态，从完全关闭位置，在打开方向使上述促动器动作，由此，按照小于上述大的压缩量的压缩量而设定。