[发明专利]一种阳极自动化键合设备

权利要求书

1.一种阳极自动化键合设备，其特征在于包括一个键合处理加热炉，其上部具有一个工件吸取杆，所述工件吸取杆安装于可在垂直方向移动的升降移动机构上，所述升降移动机构的一侧安装视觉显微系统和智能温度调节表；所述键合处理加热炉底部安装一个位移旋转平台。

2.如权利要求1所述的一种阳极自动化键合设备，其特征在于所述工件吸取杆具有铜吸嘴，所述铜吸嘴上具有电极。

3.如权利要求1所述的一种阳极自动化键合设备，其特征在于所述位移旋转平台由智能位移模块控制，其将所述位移旋转平台的移动方向定义成三维方向，分别为水平X轴方向、竖直Y轴方向和前后Y轴方向。

4.如权利要求1所述的一种阳极自动化键合设备，其特征在于所述位移旋转平台通过其底部安装的旋转滑台进行移动，所述旋转滑台的安装槽开设于阳极自动化键合设备的外壳上；所述位移旋转平台与旋转滑台之间具有陶瓷隔热片。

5.如权利要求2所述的一种阳极自动化键合设备，其特征在于所述智能位移模块能够控制位移旋转平台精确的移动至所述视觉显微系统的正下方和工件吸取杆的正下方。

6.如权利要求1所述的一种阳极自动化键合设备，其特征在于所述键合处理加热炉具有一个圆形工作区，中心位置为工件键合区，圆周位置环绕工件放置区。

7.如权利要求1所述的一种阳极自动化键合设备，其特征在于所述阳极自动化键合设备还包括一个能够供给工件吸取杆负压的真空泵和一个能够供给键合处理加热炉高压的高压供给设备。