[发明专利]具有生物兼容性的微等离子体产生方法

权利要求书

1.一种具有生物兼容性的微等离子体产生方法，该方法包含下列步骤：

A)提供一装置，该装置包含一第一气体贮存单元、一第二气体贮存单元、一微等离子体产生单元以及一电源供应单元；

B)将贮存于该第一气体贮存单元中的氦气或氩气通入该微等离子体产生单元，于预定的时间内，由该第一气体来激发微等离子体至稳定状态；

C)将贮存于该第二气体贮存单元的氧气或氮气通入该微等离子体产生单元，而产生微等离子体激发物种。

2.如权利要求1所述的方法，其中，步骤A)中的该微等离子体产生单元包含一毛细管，并在该毛细管激发微等离子体而产生低温微等离子体。

3.如权利要求1所述的方法，其中，步骤A)的该第一气体贮存单元包含一气体流量显示器，该气体流量显示器用以显示激发微等离子体的稳定状态。

4.如权利要求1所述的方法，其中，该微等离子体激发功率为1～50W。

5.如权利要求1所述的方法，其中，该氩气的流量为1～10slm。

6.如权利要求5所述的方法，其中，该氩气的流量为1～5slm。

7.如权利要求1所述的方法，其中，该氧气的添加比为0.1～5％sccm。

8.如权利要求7所述的方法，其中，该氧气的添加比为0.1～2％sccm。

9.如权利要求1所述的方法，其中，该氮气的添加百分比为0.1～2％sccm。

10.如权利要求9所述的方法，其中，该氮气的添加百分比为0.1～1％sccm。

11.如权利要求1所述的方法，其中，微等离子体处理时间为5～300秒。

12.如权利要求1所述的方法，其中，该方法包含于步骤C)中设定一工作距离，其目标物与微等离子体末端的距离。

13.如权利要求12所述的方法，其中，该工作距离为1～12mm的范围。

14.如权利要求1所述的方法，其中，该方法包含一使用功率，该使用功率在15～30W的范围。

15.如权利要求14所述的方法，其中，该使用功率在17～25W的范围。

16.如权利要求1所述的方法，其中，步骤A)的装置包含一温度量测系统，用以测量微等离子体温度，其温度范围为34～40℃。

17.如权利要求1所述的方法，其中，步骤A)所使用的装置包含一微等离子体放射光谱仪，用来定量或定性侦测微等离子体激发物种种类。

18.如权利要求13所述的方法，其中，该微等离子体激发物种为反应性氧化物种或反应性氮化物种。