[发明专利]测试方法、电源装置、电源评价装置、仿真方法

说明书

本申请是申请号为200980135553.5、申请日为2009.09.03、发明名称为“测试装置、测试方法、电路系统、以及电源装置、电源评价装置、电源环境的仿真方法”的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种电源的稳定化技术。

背景技术

在对使用了CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)技术的CPU（Central Processing Unit）、DSP(Digital Signal Processor)、存储器等的半导体集成电路（以下称为DUT）进行测试时，DUT内的触发器和门闩在提供给时钟的动作中电流将会流动，当时钟停止时电路变为静止状态，电流会减少。也就是说，流动在DUT中的消费电流（负荷电流）的合计，可根据处于动作状态的门极（晶体管）的比率（动作率），即根据测试内容等而时时刻刻地发生变动。

将电源电压提供给DUT的电源电路由调节器构成，可以不管负荷电流而理想地提供恒定的电源电压。但是，实际的电源电路具有不可忽视的输出阻抗，另外，由于电源电路和DUT之间也存在不可忽视的阻抗成分，因此电源电压将随着负荷的变动而变动。

电源电压的变动对DUT的测试容限会产生深刻的影响。另外，电源电压的变动对于测试装置内的其他电路块，例如对于生成向DUT提供图形的图形产生器、和用于对图形的迁移定时进行控制的定时产生器的动作会产生影响，从而使测试精确度恶化。

为了解决这个问题，已提出了一种技术，即根据提供给DUT的测试图形来修正电源电压，从而使DUT一端的电源电压稳定化（专利文献1）。

专利文献1：日本特开2007-205813号公报。

发明内容

在专利文献1公开的技术中，由于在读取了对DUT施加的测试图形之后而补偿电源电压，因此不能追随急剧的电源电压，并有可能会相对于测试图形而产生电源电压补偿延迟的问题。另外，由于补偿电路是作为电源电路的一部分而构成的，因此只能在由电源电路和DUT之间的阻抗所限制的频率带区域内进行补偿。另外，也需要根据所补偿的电源变动的可变量、分辨能力的多位D/A转换器。

本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的之一在于，提供一种能够补偿电源电压变动的测试装置。

本发明的一种实施方式是电路系统。该电路系统具备：半导体设备；主电源，其将电源电压提供给半导体设备的电源端子；控制图形生成部，其生成包含与半导体设备执行的处理相对应的脉冲列的控制图形；补偿电路，其在半导体设备执行上述处理期间，根据控制图形，而从与主电源不同的通路向半导体设备的电源端子中间歇性地注入补偿电流。

并且，本发明的其他实施方式也是一种电路系统。该电路系统具备：半导体设备；主电源，其将电源电压提供给半导体设备的电源端子；控制图形生成部，其生成包含与半导体设备执行的处理相对应的脉冲列的控制图形；补偿电路，其在半导体设备执行上述处理期间，根据控制图形，而将来自主电源的电源电流的一部分作为补偿电流，间歇性地引入到与半导体设备不同的通路中。

控制图形生成部被内装在半导体设备中，其可以根据半导体设备的动作状态而使脉冲列的占空比发生变化。

本发明的其他实施方式涉及一种对被测试设备进行测试的测试装置。该测试装置具备：主电源，其将电源电压提供给被测试设备的电源端子；控制图形生成部，其生成包含与半导体设备执行的处理相对应的脉冲列的控制图形；补偿电路，其在半导体设备执行上述处理期间，根据控制图形，而从与主电源不同的通路向被测试设备的电源端子中间歇性地注入补偿电流（补偿电荷）。

根据该实施方式，通过控制脉冲列的占空比，从而可以抑制电源电压的变动，或者可以有意地使电源电压发生变动。“占空比”的概念是指，脉冲的高频率和低频率的时间比率，不仅指一个周期内的时间比率，而且也包含多个周期的平均时间比率。

控制图形生成部在相对于流入到被测试设备的电源端子中的电流发生变化的定时提前规定时间，进行向所述补偿电路输出用于使补偿电流发生变化的控制图形。

当施加控制图形且补偿电流开始流动后，电源电压有可能会在影响出现之前产生延迟的情况。在这种情况下，通过考虑延迟并赋予控制图形，可以进一步抑制电源电压的变动。

规定时间可以由以下来决定。

1、在使被测试设备执行了电源电压没有变化的动作状态下，在第一定时向补偿电路输出用于使补偿电流发生变化的控制图形。

2、接着，对赋予了控制图形后的结果为、被测试设备的电特性发生变化的第二定时进行检测。