[发明专利]一种频率可调的微扫描反射镜及其荧光成像应用

权利要求书

1.一种频率可调的微扫描反射镜，包括反射镜，其特征在于，所述的反射镜包括使反射镜上下翻转的内轴和使反射镜左右翻转的外轴，所述的反射镜还设置有用于所述的内轴旋转的第一组梳状驱动装置和用于驱动所述的外轴旋转的第二组梳状驱动装置，所述的第一组梳状驱动装置包括多个围绕所述的内轴固定不动的定子梳齿和多个围绕所述的内轴旋转一定角度的转子梳齿，所述的第二组梳状驱动装置包括多个围绕所述的外轴固定不动的定子梳齿和多个围绕所述的外轴旋转一定角度的转子梳齿，所述的定子梳齿与所述的转子梳齿上下错开间隔分布，所述的内轴和所述的外轴均设置有调谐所述的反射镜的热电加热装置。

2.根据权利要求1所述的一种频率可调的微扫描反射镜，其特征在于：所述的反射镜的外周设置有可旋转的反射镜活动框，所述的内轴设置在所述的反射镜活动框上且位于所述的反射镜的外沿，所述的内轴在电压的驱动下带动反射镜上下翻转，所述的反射镜与所述的反射镜活动框通过内轴一体连接，所述的外轴设置在所述的反射镜活动框外沿且所述的外轴在电压的驱动下带动所述的反射镜与所述的反射镜活动框整体左右翻转。

3.根据权利要求2所述的一种频率可调的微扫描反射镜，其特征在于：所述的转子梳齿的厚度为0.5-50微米，各个所述的转子梳齿之间的距离为0.5-50微米，所述的定子梳齿的厚度为0.5-50微米，各个所述的定子梳齿之间的距离为0.5-50微米。

4.根据权利要求3所述的一种频率可调的微扫描反射镜，其特征在于：所述的转子梳齿的厚度为8微米，各个所述的转子梳齿之间的距离为8微米，所述的定子梳齿的厚度为8微米，各个所述的定子梳齿之间的距离为8微米。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的一种频率可调的微扫描反射镜，其特征在于：所述的反射镜的直径为1024微米。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的一种频率可调的微扫描反射镜，其特征在于：所述的热电加热装置由P型掺杂形成的用于协助热电在轴内流动的肖特基二极管。

7.一种基于频率可调的微扫描反射镜的荧光成像系统，其特征在于：所述的荧光成像系统包括一个共聚焦探头，该共聚焦探头包括权利要求1-6中任一项所述的频率可调的微扫描反射镜。