[发明专利]一种结构动态缺陷光纤显微监测装置

权利要求书

1.一种结构动态缺陷光纤显微监测装置，其特征在于，它包括：计算机（1）、CCD摄像机（2）、光学显微镜（3）、固定块（4）、光纤传像束（5）、转接口（6）、微型显微镜（7）、螺纹接口（8）、二维微调系统（9）和夹具（10）；

所述二维微调系统（9）包括纵向调节机构（9-1）和横向调节机构（9-2）；且在纵向调节机构（9-1）的一端设置有连接螺纹通孔（9-3）；

所述夹具（10）包括U型槽和锁紧旋钮（10-1）；该锁紧旋钮（10-1）设置在U型槽的一个侧壁上；

所述夹具（10）的U型槽的底部固定连接在二维微调系统（9）的横向调节机构（9-2）上；

所述微型显微镜（7）的物镜嵌入在所述螺纹接口（8）的一端，该螺纹接口（8）的另一端与纵向调节机构（9-1）的螺纹通孔（9-3）固定连接，且所述螺纹接口（8）的内腔与所述螺纹通孔（9-3）连通；所述螺纹接口（8）与二维微调系统（9）构成随动三维调节装置；

所述微型显微镜（7）的另一端通过转接口（6）与光纤传像束（5）的一端连接；

该光纤传像束（5）的另一端通过固定块（4）与光学显微镜（3）相连接；

所述固定块（4）设置在光学显微镜（3）样品台的正上方；所述光学显微镜（3）上设置有CCD摄像机（2），该CCD摄像机（2）通过数据线与计算机（1）连接。

2.根据权利要求1所述一种结构动态缺陷光纤显微监测装置，其特征在于，所述微型显微镜（7）的物镜与待测样品的垂直距离为20mm～22mm。

3.根据权利要求1所述一种结构动态缺陷光纤显微监测装置，其特征在于，所述光纤传像束（5）靠近微型显微镜（7）的端口距离微型显微镜（7）目镜的距离为5mm～7mm。

4.根据权利要求1所述一种结构动态缺陷光纤显微监测装置，其特征在于，所述光纤传像束（5）靠近光学显微镜（3）的端口距离光学显微镜（3）物镜的距离为14mm～15mm。