[发明专利]偏振光紫外线照射装置

权利要求书

1.一种偏振光紫外线照射装置，其具备照射器，所述照射器具有线状的紫外线光源、反射紫外线的反射镜、以及用于使照射的紫外线成为直线偏振光的线栅偏振光器，所述偏振光紫外线照射装置对被照射物照射偏振光而进行光取向，所述偏振光紫外线照射装置的特征在于，

所述线栅偏振光器以该线栅偏振光器的偏振光轴的方向与所述光源的轴线方向一致的方式在所述光源的轴线方向上排列有多个，

所述偏振光紫外线照射装置包括：

具备线状的缘端，并且输送所述被照射物的输送台；

使所述输送台在与所述光源的轴线方向正交的方向上朝向所述照射器的下方位置进行往复驱动的往复驱动机构；

以所述输送台的所述缘端与所述光源的轴线方向一致的方式旋转驱动所述输送台的旋转驱动机构；

存储与所述光源的轴线方向一致的所述缘端的存储部；

以被照射物成为该被照射物的一对边相对于被存储的所述缘端一致的正确姿势的方式调整所述被照射物的角度的角度调整装置；以及

在被照射物传送至所述照射器的下方位置的期间，使被调整为所述正确姿势的该被照射物相对于被存储的所述缘端旋转针对被照射物的直线偏振光的偏振光轴角度的旋转机构。

2.如权利要求1所述的偏振光紫外线照射装置，其特征在于，

所述旋转驱动机构为了使载置于所述输送台上的被照射物相对于被存储的所述缘端旋转针对被照射物的直线偏振光的偏振光轴角度而旋转驱动所述输送台。

3.如权利要求1所述的偏振光紫外线照射装置，其特征在于，

所述角度调整装置使被照射物相对于被存储的所述缘端旋转针对被照射物的直线偏振光的偏振光轴角度，

所述偏振光紫外线照射装置包括用于从所述角度调整装置向所述输送台上载置被照射物的机械手。

4.如权利要求1至3中任意一项所述的偏振光紫外线照射装置，其特征在于，

所述旋转机构包括3轴驱动机构，该3轴驱动机构使所述被照射物在相互正交的2轴方向上移动并使该被照射物的中心对位于所述被照射物的旋转轴，以该旋转轴为中心而使所述被照射物相对于所述光源的轴线旋转规定角度。