[发明专利]电介质阻挡放电灯

说明书

技术领域

本发明涉及用于照射真空紫外线的电介质阻挡放电灯。

背景技术

近些年，公知有放电管的形状为在照射侧具有平坦的面的电介质阻挡放电灯(专利文献1、2、3等)。该电介质阻挡放电灯通过与规定的电源装置连接而能够以低成本制造紫外线照射装置，具有能够向照射对象物直接照射真空紫外线的优点。

在专利文献1中记载有如下技术：在形成为前后极其纵长的形状的电介质阻挡放电灯中，通过在主要由石英构成的放电容器内的前后端壁板或左右侧壁板的内表面形成“真空紫外线保护层”，从而抑制前后端壁板或左右侧壁板的劣化(第10段及第11段等)。另外，在专利文献2中记载有如下技术：在主要由石英构成且具有将左右侧壁板和上下的壁板相连的边缘部的放电容器中，将上下的壁板的中央部以朝向放电容器的内侧的方式形成为弯曲状，并在放电容器的内侧表面形成“紫外线反射膜”，由此能够防止以边缘部为破损的起点的放电容器的破裂(第8段及第9段等)。

另外，在本发明诸发明者的先前的研究中，了解到存在因收纳放电管的灯罩内的气流等而使各种飞散物容易附着于放电管，且因该管壁的附着物而对放电管产生损伤这样的问题。因此，本发明诸发明者提出如下方案：通过至少遮挡50％以上的紫外线的“遮光构件”来构成主要由石英构成的位于放电管中的下壁板的周围的长侧面上的壁面，由此来减少向放电管飞来的飞散物的附着及其固化(专利文献3)。以下，在说明书中，包含放电管在内而称为放电容器。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2004-127710号公报

【专利文献2】日本特开2009-181818号公报

【专利文献3】国际公开第2011/078181号

【发明的概要】

【发明要解决的课题】

然而，在上述现有的电介质阻挡放电灯中，若使放电容器的左右侧壁板整体为遮光构件、或者在其内侧的表面整体形成遮挡紫外线的遮光膜，则存在使紫外线的照射光量降低这样的问题。

另外，在上述现有的电介质阻挡放电灯中，由于放电容器主要由石英构成，因此若使极高的紫外线的能量向放电容器连续照射，则存在因形成遮光膜的范围而产生裂纹，从而使放电容器破损的情况。在使放电容器的左右侧壁板的截面以朝向外侧成为凸出的方式弯曲时，在没有遮光膜的情况下，存在在该弯曲的顶部附近发生破损的情况。另外，即使当遮光膜在左右侧壁板的内侧表面上形成在弯曲的顶部附近的情况下，在加速实验中，也存在放电容器在遮光膜的短缘部附近发生破损的情况。

本件发明诸发明者着眼于将紫外线向放电容器照射时的弯曲部中的破损部位及其破坏应力，认为应力集中的部位因遮光膜的形成范围而不同，因此遮光膜的形成范围与在放电容器的弯曲部产生的应力分布一定具有某种关系。并且，在周密地调查遮光膜的形成范围与放电容器的应力分布的关系后，完成遮光膜的形成范围是在放电容器的弯曲部产生的应力分布中是否达到破坏应力的重要的原因之一的见解(第一方面的见解)。

另外，本件发明诸发明者着眼于将紫外线向放电容器照射时的弯曲部中的破损部位、遮光膜的紫外线的透过率及其破坏应力，认为直至放电容器的破损为止的时间因遮光膜的形成范围及紫外线的透过率而不同，因此遮光膜的形成范围及遮光膜的紫外线的透过率与在放电容器的弯曲部产生的应力分布一定有某种关系。并且，在周密地调查遮光膜的形成范围及遮光膜的紫外线的透过率与放电容器的应力分布的关系后，完成遮光膜的形成范围及紫外线的透过率是在放电容器的弯曲部产生的应力分布中是否达到破坏应力的重要的原因之一的见解(第二方面的见解)。

发明内容

本发明鉴于上述情况而提出，其技术的课题在于，在用于照射真空紫外线的电介质阻挡放电灯中，主要抑制真空紫外线的照射光量的降低，并同时抑制放电容器的破损来提高寿命。

【解决方案】