[发明专利]热风循环式加热装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于对被加热物进行热处理的热风循环式加热装置。

背景技术

日本专利特开平8－336907号公报公开了一种以空气作为介质对收容于主体内部的被加热物进行热处理的现有的热风循环式加热装置。图6是表示日本专利特开平8－336907号公报中记载的现有的热风循环式加热装置的结构的图。

图6所示的现有的热风循环式加热装置包括：垂直管道63、64，该垂直管道63、64分别与供被加热物62收容的主体61的相对的两壁连接；第一连接管道65及第二连接管道66，该第一连接管道65及第二连接管道66分别将垂直管道63、64的中间部及下端部彼此连接；送风机67，该送风机67设于第一连接管道65的中间部与第二连接管道66的中间部之间；加热器68、69，该加热器68、69分别设于垂直管道63、64的上部；第一切换气门D1及第二切换气门D2，该第一切换气门D1及第二切换气门D2设于第一连结管道65的内部；以及第三切换气门D3及第四切换气门D4，该第三切换气门D3及第四切换气门D4设于第二连结管道66的内部。送风机67与第一连接管道65的中间部连接，在该中间部的两侧分别设有第一切换气门D1和第二切换气门D2。另外，送风机67也与第二连接管道66的中间部连接，在该第二连接管道66的中间部的两侧分别设有第三切换气门D3和第四切换气门D4。

该现有的热风循环式加热装置分别以规定的周期切换第一切换气门D1、第二切换气门D2、第三切换气门D3、第四切换气门D4的打开关闭状态，以将流向被加热物62的热风的方向交替地切换为－x方向和＋x方向。具体而言，当第一切换气门D1及第四切换气门D4关闭、第二切换气门D2及第三切换气门D3打开时，在主体61的内部形成有朝－x方向输送的空气(热风)的流动。另一方面，当第二切换气门D2及第三切换气门D3关闭、第一切换气门D1及第四切换气门D4打开时，在主体61的内部形成有朝＋x方向输送的空气(热风)的流动。

然而，在上述现有的热风循环式加热装置对具有俯视观察时的形状为矩形的外形的基板状的被加热物进行完热处理的情况下，在该被加热物的面内会产生温度不均。其原因是，如图7(a)所示，被输送至被加热物71的空气(热风)逃逸至阻力更少的被加热物的周围，因此，如图7(b)所示，在从构成被加热物71的矩形外形的边中靠气流的上游侧的边朝该被加热物71的中心突出的区域(以阴影线所示的区域)中，被加热物71的温度上升得较快，另一方面，在该区域以外的区域、即气流的中央两侧的区域和气流的下游侧的区域中，被加热物71的温度上升较慢。即便空气(热风)被输送至被加热物的方向在将被加热物夹住的两个方向(－x方向和＋x方向)上交替地切换，在气流的中央两侧的区域被加热物的温度上升较慢这点没有产生变化，因此，在被加热物的面内产生温度偏差。

图7示出了上述现有的热风循环式加热装置在使空气(热风)朝－x方向流动至具有俯视观察时的形状为矩形的外形的基板状的被加热物71之后，使空气(热风)朝＋x方向流动至该被加热物71以对被加热物71进行热处理的情况下的流向被加热物71的气流和被加热物71的温度状态。具体而言，图7(a)用箭头示出了空气(热风)朝－x方向流动至被加热物71时的气流。另外，图7(b)用阴影线示出了因空气(热风)朝－x方向流动至被加热物71而使温度上升的区域。另外，图7(c)用箭头示出了空气(热风)朝＋x方向流动至被加热物71时的气流。另外，图7(d)用阴影线示出了在空气(温风)朝－x方向流动至被加热物71之后、因空气(温风)朝＋x方向流动至该被加热物71而使温度上升的区域。

如图7(a)及图7(c)所示，被输送至被加热物71的空气朝阻力更少的被加热物71的周围逃逸。因此，即便在空气(热风)被输送至被加热物71的方向交替地切换为－x方向和＋x方向的情况下，如图7(b)及图7(d)所示，在气流的中央两侧的区域，被加热物71的温度上升也较慢。因此，在被加热物71的面内产生温度不均。

如上所述，在上述现有的热风循环式加热装置对具有俯视观察时的形状为矩形的外形的基板状的被加热物进行完热处理的情况下，在该被加热物的面内会产生温度不均。由此，在上述现有的热风循环式加热装置中，难以确保被加热物的稳定的品质。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种能对具有俯视观察时的形状为矩形的外形的基板状的被加热物在其面内均匀地进行热处理的热风循环式加热装置。