[发明专利]1.55～1.75μm透过短波红外滤光片及制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种1.55～1.75μm透过短波红外滤光片及制备方法，具体地说，涉及一种在1.55～1.75μm谱段具有高透过率，同时在0.20～1.45μm和1.95～3.35μm谱段宽截止的短波红外滤光片；属于表面技术领域。

背景技术

目前遥感探测系统的空间微型组合滤光片中，亟需一种满足以下要求的关键滤光片：（1）在1.55～1.75μm谱段具有高透过率；（2）在0.20～1.45μm和1.95～3.35μm谱段具有抑制光信号的作用，以减少信号噪声的影响；（3）可在低温（80K）下使用；（4）基底尺寸小，基底所有面之间的夹角为直角，不存在倒角，膜层在拼接时不产生起膜或掉膜等膜层质量问题，以满足在所述空间微型组合滤光片中的拼接要求。

目前已有的短波红外滤光片截止宽度相对较窄，未见在1.55～1.75μm谱段具有高透过率，在0.20～1.45μm和1.95～3.35μm谱段宽截止的短波红外滤光片的相关报道；同时，现有的短波红外滤光片主要由高低折射率相差较少的两种氧化物形成，存在膜层数较多以及膜层应力大等特点，因此在微型基底上镀制将出现膜层断裂以及起膜等问题，不能满足在遥感探测系统的空间微型组合滤光片中拼接及低温使用要求。

发明内容

针对现有技术中存在的缺陷，本发明的目的之一在于提供一种1.55～1.75μm透过短波红外滤光片，所述滤光片在1.55～1.75μm谱段具有高透过率，在0.20～1.4μm和1.95～3.35μm谱段宽截止，具有基底尺寸小、可低温使用、膜层质量好以及可拼接等特点。

本发明的目的之二在于提供一种1.55～1.75μm透过短波红外滤光片的制备方法。

本发明的目的通过以下技术方案实现。

一种1.55～1.75μm透过短波红外滤光片，所述滤光片包括硅基底、硅基底一侧的长波通膜系和硅基底另一侧的短波通膜系；

其中，优选基底长29.5mm，宽1.6mm，厚1.2mm，优选基底的平行度<30″；长波通膜系包括交替叠加的硫化锌（ZnS）膜层和氟化钇（YF3）膜层，长波通膜系的结构为：（0.5hl0.5h）^10，中心波长为1250nm；其中，h为硫化锌膜层，0.5为硫化锌膜层厚度对应基本厚度的系数，0.5h表示硫化锌膜层厚度为0.5个基本厚度，l为氟化钇膜层，1为氟化钇膜层厚度对应基本厚度的系数，l表示氟化钇膜层厚度为1个基本厚度，所述基本厚度为光学厚度中心波长的四分之一，10为基本膜堆（0.5hl0.5h）的周期数。

采用Macleod软件对所述长波通膜系的结构进行优化，得到优选的长波通膜系，如表1所示，其中，层数为1的膜层为长波通膜系的最外层，层数为21的膜层沉积在硅基底上，为长波通膜系的最内层；

表1长波通膜系