[发明专利]柔性显示装置的制造方法有效
申请号: | 201310143226.2 | 申请日: | 2013-04-23 |
公开(公告)号: | CN103715136B | 公开(公告)日: | 2018-12-14 |
发明(设计)人: | 崔廷豪;吴相宪;康东旭 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L51/00 | 分类号: | H01L51/00;H01L51/56;B32B38/00 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 韩明星;金光军 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 显示装置 制造 方法 | ||
本发明公开柔性显示装置的制造方法。公开的柔性显示装置的制造方法包括如下步骤:准备柔性基板形成于载体基板的基板组装体;将准备的多个基板组装体分为多层装载至加热炉内;对于在加热炉内层叠为所述多层的各个基板组装体,沿水平方向喷吹热风而进行热处理;在经热处理的基板组装体的柔性基板上形成显示单元;分离柔性基板和载体基板。根据这种制造方式,在分离载体基板和柔性基板之后也能够抑制柔性基板发生弯曲的现象,因此可以使后续工序顺畅地进行,据此可提高生产率,还可以降低在处理过程中可能发生的产品被损伤的危险。
技术领域
本发明涉及柔性显示装置的制造方法,尤其涉及能够防止基板的弯曲变形的柔性显示装置的制造方法。
背景技术
如同有机发光显示装置的显示装置在驱动特性上能够实现薄型化以及柔性化,因此对这种显示装置进行着诸多研究。
最近,显示单元形成于柔软的柔性基板上的柔性显示装置逐渐受到关注。
在制造这种柔性显示装置时,通常通过如下方式进行制造:在坚硬的载体基板上涂布诸如聚酰亚胺的柔性材料而形成柔性基板,并在该柔性基板上形成显示单元之后,最后分离载体基板和柔性基板。
然而,如此地分离出载体基板和柔性基板时,薄的柔性基板受到压缩应力而不能平坦地舒展,因此导致频繁地发生柔性基板弯曲的情况。这样一来,在后续工序中将会难以取放产品,因此要求提供对此的解决方案。
发明内容
本发明的实施例提供一种被改善为分离载体基板和柔性基板之后也能够抑制柔性基板发生弯曲的现象的柔性显示装置的制造方法。
本发明的实施例提供的柔性显示装置的制造方法包括如下步骤:准备柔性基板形成于载体基板的基板组装体;将准备的多个所述基板组装体分为多层装载至加热炉内;对于在所述加热炉内层叠为所述多层的各个基板组装体,沿水平方向喷吹热风而进行热处理;在经热处理的所述基板组装体的所述柔性基板上形成显示单元;分离所述柔性基板和所述载体基板。
在进行所述热处理的步骤中,所述热风可沿着层叠于各层的所述基板组装体的柔性基板的板面形成层流而经过。
在进行所述热处理的步骤中,可分阶段地提高所述热风的温度。
所述热风的温度可按照小于150℃的第一阶段和150℃以上且小于300℃的第二阶段以及300℃以上的第三阶段来分阶段地上升。
所述柔性基板可包括聚酰亚胺材料,所述载体基板可包括玻璃材料。
还可包括在分离柔性基板和载体基板之后,对所述柔性基板进行再加热的后处理步骤。
所述后处理步骤可包括将热源直接接触到所述柔性基板的直接加热步骤和将所述柔性基板在高温氛围下放置预定时间的间接加热步骤中的任意一个。
在所述直接加热步骤中,可以将柔性基板放置到被加热至50~150℃的热板上且放置1~10分钟。
在所述间接加热步骤中,可以将所述柔性基板放置于温度维持在50~150℃的烤箱内且放置1~5分钟。
在分离出所述载体基板和所述柔性基板之后确认到所述柔性基板的弯曲时,选择进行所述后处理步骤。
如上所述,根据本发明的柔性显示装置的制造方法,在分离载体基板和柔性基板之后也能够抑制柔性基板发生弯曲的现象,因此可以使后续工序顺畅地进行,据此可提高生产率,还可以降低在处理过程中可能发生的产品被损伤的危险。
附图说明
图1为示出利用本发明的实施例提供的制造方法制造的柔性显示装置的剖面图。
图2a至图2g为示出图1所示的柔性显示装置的制造过程的图。
具体实施方式
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择