[发明专利]表面纹理测量设备、其控制器和用于控制其的方法

权利要求书

1.一种表面纹理测量设备，包括：

位移传感器，被配置为检测工件表面位移；

显示器，被配置为显示测量结果；

控制器，被配置为处理来自位移传感器的检测信号，并还被配置为在显示器上显示测量结果；

其中，所述控制器包括：

传感器电路，被配置为处理来自位移传感器的检测信号，并还被配置为输出所述检测信号作为测量值；

量程放大器电路，包括多个量程放大器，被配置为以不同的放大因子放大所述测量值；

AD转换器，被配置为对通过量程放大器电路放大的模拟信号进行数字转换；和

数字电路，被配置为处理由AD转换器转换的AD转换值，并还被配置为在显示器上以对应于量程放大器的多个显示量程来显示所述AD转换值，其中数字电路还被配置为将AD转换器所转换的AD转换值与对应于显示量程的已校正显示分辨率的乘积作为已校正显示值在显示器上显示，并且

其中所述已校正显示分辨率通过以下限定：

选择任一显示量程作为参考量程，并定义用于每个显示量程的校准测量值；

替换所述测量值而依次将校准测量值输入到对应于参考量程的量程放大器，以获得在显示器上显示的显示值作为参考显示值；

替代各个测量值而将对应于每个显示量程的校准测量值输入到对应于每个显示量程的量程放大器，并然后获得用于每个显示量程的AD转换值和显示在显示器上的显示值；和

对每个显示量程，通过将参考显示值除以显示值计算增益误差率，通过将显示值除以AD转换值计算显示分辨率，以及将显示分辨率和增益误差率的乘积记录为已校正显示分辨率。

2.如权利要求1所述的表面纹理测量设备，还包括：

电平移位电路，其位于传感器电路和量程放大器电路之间，该电平移位电路被配置为将电平移位量加到来自传感器电路的测量值上，其中所述电平移位量利用从数字电路接收的用于每个显示量程的偏移量指定，并且在从传感器电路输出的测量值是预定参考电压的状态中，在电平移位量被控制使AD转换值等于预定值时的点上，所述偏移量被视为电平移位量。

3.一种表面纹理测量设备的控制器，该表面纹理测量设备包括用于检测工件表面的位移的位移传感器和用于显示测量结果的显示器，所述控制器处理来自位移传感器的检测信号、并且在显示器上显示测量结果，控制器包括：

传感器电路，被配置为处理来自位移传感器的检测信号，并且还被配置为输出检测信号作为测量值；

量程放大器电路，包括多个量程放大器，被配置为以不同的放大因子放大测量值；

AD转换器，被配置为对量程放大器电路所放大的模拟信号执行数字转换；和

数字电路，被配置为处理由所述AD转换器转换的AD转换值，并且还被配置为以对应于量程放大器的多个显示量程在显示器上显示AD转换值，其中数字电路被配置为将AD转换器转换的AD转换值和对应于显示量程的已校正显示分辨率的乘积作为已校正显示值在显示器上显示，以及

其中所述已校正显示分辨率通过以下限定：

选择任一显示量程作为参考量程，并定义用于每个显示量程的校准测量值；

替换所述测量值而依次将校准测量值输入到对应于参考量程的量程放大器，以获得在显示器上显示的显示值作为参考显示值；

替代各个测量值而将对应于每个显示量程的校准测量值输入到对应于每个显示量程的量程放大器，然后获得用于每个显示量程的AD转换值和显示在显示器上的显示值；和

对每个显示量程，通过将参考显示值除以显示值计算增益误差率，通过将显示值除以AD转换值计算显示分辨率，以及将显示分辨率和增益误差率的乘积记录为已校正显示分辨率。

4.如权利要求3所述的表面纹理测量设备的控制器，还包括：

电平移位电路，其位于传感器电路和量程放大器电路之间，该电平移位电路被配置为将电平移位量加到来自传感器电路的测量值上，其中所述电平移位量利用从数字电路接收的用于每个显示量程的偏移量指定，并且在从传感器电路输出的测量值是预定参考电压的状态中，在电平移位量被控制使AD转换值等于预定值时的点上，所述偏移量被视为电平移位量。