[发明专利]一种实现极紫外波段多能点光谱分辨的成像系统及其应用

权利要求书

1.一种实现极紫外波段多能点光谱分辨的成像系统，用于对一个物体形成多个图像，其特征在于，该成像系统包括多块主镜和一块副镜，所述的主镜均设在一个圆周上，所述的副镜位于该圆周的轴线上，每一块主镜分别和副镜共同组成一个通道，每个通道对同一个物体形成一幅图像；

物体发出的光经每一个主镜反射后，均照射到副镜上，再经过副镜反射后形成与主镜块数相同的多幅图像。

2.根据权利要求1所述的一种实现极紫外波段多能点光谱分辨的成像系统，其特征在于，所述的主镜和副镜的表面均镀制具有光谱选择性的薄膜，所述的薄膜仅对特定波长或能点的极紫外光或软X射线光进行反射。

3.根据权利要求2所述的一种实现极紫外波段多能点光谱分辨的成像系统，其特征在于，在副镜表面镀制薄膜时，将副镜表面均分成与主镜个数相同的区域，并在每个区域内镀制薄膜，每个区域上薄膜的材料和参数与相对应主镜上薄膜的材料和参数相同。

4.根据权利要求2所述的一种实现极紫外波段多能点光谱分辨的成像系统，其特征在于，所述的薄膜的材料选自C/Si、Mo/Si、Mo/Y或Mo/Si。

5.根据权利要求2所述的一种实现极紫外波段多能点光谱分辨的成像系统，其特征在于，所述的薄膜为多层膜。

6.根据权利要求1所述的一种实现极紫外波段多能点光谱分辨的成像系统，其特征在于，所述的主镜的个数为4个或8个。

7.一种如权利要求1～6任一所述的实现极紫外波段多能点光谱分辨的成像系统的应用，其特征在于，将成像系统应用于对Z-pinch装置的等离子体成像。