[发明专利]基于压电效应的MEMS仿生结构矢量水声传感器

权利要求书

1.一种基于压电效应的MEMS仿生结构矢量水声传感器，其特征在于：包括基底（1）、框形基座（2）、悬臂梁（3）、质量块（4）、空心玻璃柱体（5）、内侧PZT压电薄膜（6）、以及外侧PZT压电薄膜（7）；其中，框形基座（2）的下端面键合于基底（1）的上表面；悬臂梁（3）的外端面固定于框形基座（2）的内表面；质量块（4）固定于悬臂梁（3）的内端面，且质量块（4）的上表面中央垂直开设有圆孔；空心玻璃柱体（5）的下端键合于圆孔内；内侧PZT压电薄膜（6）旋涂于悬臂梁（3）的内端上表面；外侧PZT压电薄膜（7）旋涂于悬臂梁（3）的外端上表面；内侧PZT压电薄膜（6）的底电极与外侧PZT压电薄膜（7）的底电极相互共用；内侧PZT压电薄膜（6）的顶电极与外侧PZT压电薄膜（7）的顶电极相互断开。

2.根据权利要求1所述的基于压电效应的MEMS仿生结构矢量水声传感器，其特征在于：框形基座（2）上固定有外接引线键合焊盘；内侧PZT压电薄膜（6）的极化表面与外接引线键合焊盘之间、外侧PZT压电薄膜（7）的极化表面与外接引线键合焊盘之间均连接有引线。

3.根据权利要求1或2所述的基于压电效应的MEMS仿生结构矢量水声传感器，其特征在于：悬臂梁（3）的数目、内侧PZT压电薄膜（6）的数目、外侧PZT压电薄膜（7）的数目均为四个；四个悬臂梁（3）的外端面分别对称固定于框形基座（2）的内表面；质量块（4）同时固定于四个悬臂梁（3）的内端面；四个内侧PZT压电薄膜（6）一一对应旋涂于四个悬臂梁（3）的内端上表面；四个外侧PZT压电薄膜（7）一一对应旋涂于四个悬臂梁（3）的外端上表面。