[发明专利]激光加工装置和激光加工方法

权利要求书

1.一种激光加工装置，其对被加工物实施激光加工，

该激光加工装置的特征在于具有：

卡盘台，其保持被加工物；

激光束照射构件，其包括激光振荡器和加工头，该加工头具有聚光透镜，该聚光透镜对从该激光振荡器振荡出的激光束进行会聚；

反射光量检测构件，其检测从该激光束照射构件照射到保持于该卡盘台的被加工物的激光束的反射光量；以及

输出调整构件，其基于由该反射光量检测构件检测出的反射光量，调整从该激光振荡器振荡出的激光束的输出。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

该激光加工装置还具有级数计算构件，该级数计算构件基于由所述反射光量检测构件检测出的反射光量，计算利用该激光束照射构件沿着被加工物的厚度方向实施多级激光加工的级数。

3.一种激光加工方法，对被加工物实施激光加工，

该激光加工方法的特征在于具有：

保持步骤，利用卡盘台保持被加工物；

反射光量检测用激光束照射步骤，以第一条件从激光束照射构件对保持于该卡盘台的被加工物照射激光束；

反射光量检测步骤，对在该反射光量检测用激光束照射步骤中照射到被加工物的激光束被被加工物上表面反射后的反射光的反射光量进行检测；以及

激光加工步骤，在实施了该反射光量检测步骤后，基于在该反射光量检测步骤中检测出的反射光量，设定利用该激光束照射构件照射的激光束的输出，以第二条件从该激光束照射构件对保持于该卡盘台的被加工物照射激光束，来对被加工物实施激光加工。

4.根据权利要求3所述的激光加工方法，其中，

该激光加工方法还具有级数计算步骤，在该级数计算步骤中，基于在所述反射光量检测步骤中检测出的反射光量，计算沿着被加工物的厚度方向实施多级激光加工的级数，

在所述激光加工步骤中，基于在该级数计算步骤中计算出的级数，沿着被加工物的厚度方向实施多级激光加工。