[发明专利]一种具有自动对准系统的四曝光头光学曝光机

权利要求书

1.一种具有自动对准系统的四曝光头光学曝光机，包括用于被曝光的玻璃基板，其特征在于，

所述玻璃基板标有对准标记；

一用于检测所述玻璃基板对准标记的定位工作台，所述玻璃基板的对准标记与所述定位工作台的固定标记对准；

所述定位工作台具有电荷耦合元件图像传感器以及与所述电荷耦合元件图像传感器相互信号连接的处理器，所述电荷耦合元件图像传感器读取所述玻璃基板的标记图像，并将图像传输至所述处理器，所述处理器控制所述定位工作台进行XYΘ方向运动调节；

所述光学曝光机包括位于所述玻璃基板上方的若干曝光头，所述曝光头正对所述玻璃基板；

所述光学曝光机还包括用于传输所述玻璃基板至所述定位工作台的上料机构以及从所述定位工作台移除的下料机构。

2.根据权利要求1所述具有自动对准系统的四曝光头光学曝光机，其特征在于，所述处理器包括图像采集模块和图像处理模块，所述图像采集模块将所述电荷耦合元件图像传感器采集的所述玻璃基板的连续模拟图像信号转换成数字图像信号，并通过所述图像处理模块对数字图像信号进行运算处理，以提取所述玻璃基板标记图像的边缘。

3.根据权利要求2所述具有自动对准系统的四曝光头光学曝光机，其特征在于，所述运算处理包括图像预处理、图像分割和图像匹配。

4.根据权利要求3所述具有自动对准系统的四曝光头光学曝光机，其特征在于，所述图像预处理包括减少和滤除图像中的噪声和增强图像的边缘。

5.根据权利要求1所述具有自动对准系统的四曝光头光学曝光机，其特征在于，所述曝光头的数量为四个。

6.根据权利要求1所述具有自动对准系统的四曝光头光学曝光机，其特征在于，所述定位工作台包括固定座和活动座，所述处理器控制所述活动座相对所述固定座实现XYΘ方向的运动调节，所述玻璃基板放置在所述活动座上。

7.根据权利要求1所述具有自动对准系统的四曝光头光学曝光机，其特征在于，所述上料机构和所述下料机构均为传动带，所述上料机构和所述下料机构靠近所述活动座。