[发明专利]网格加密方法

权利要求书

1.一种以因子n减小临界尺寸(CD)的光刻工艺的方法，其中n＜1，包括：

提供具有第一像素面积S1的图案发生器以产生具有等于n²*S1的第二像素面积S2的数据网格，所述图案发生器包括具有多个网格段的多段结构，所述网格段包括第一组网格段和第二组网格段，所述第一组网格均被配置为在第一方向具有偏移；以及

在光刻工艺期间，在垂直于第一方向的第二方向上扫描所述图案发生器，使得所述第二组网格段均被控制为具有时延。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述图案发生器具有以因子1/n²增加的像素数量，并且所述图案发生器的数据量与1/n²成比例。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述图案发生器被设计为产生2^m个灰阶，并且所述图案发生器的数据量与m/n²成比例。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述图案发生器被设计为具有从2^m减少至2^m-a的灰阶，参数“a”大于0，并且所述图案发生器的数据量与(m-a)/n²成比例。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述图案发生器中的网格段的数量等于1/n²。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，每个网格段均包括沿着所述第二方向在每列中具有(2^m-1)个像素的网格阵列，并且所述数据网格具有2^m个灰阶。

7.根据权利要求5所述的方法，其中，每个网格段均包括沿着所述第二方向在每列中具有(2^m-a-1)个像素的网格阵列，并且所述数据网格具有2^m-a个灰阶，参数“a”大于0。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，所述图案发生器中的网格段的数量等于1/n。

9.一种用于光刻工艺的图案发生器，形成在以因子n减小临界尺寸(CD)的数据网格中限定的曝光量，其中n＜1，包括：

多个网格段，被配置为使得一组网格段可被控制为在光刻工艺期间具有时延；

多个像素，配置在所述网格段中，以因子1/n²增加像素数量；并且

所述图案发生器中的像素的像素面积等于所述数据网格的像素面积乘以1/n²。

10.一种用于光刻工艺的方法，使用图案发生器形成在具有第一像素尺寸的数据网格中限定的曝光量，所述图案发生器的第二像素尺寸大于所述第一像素尺寸，所述方法包括：

接收具有多个网格段的所述图案发生器；以及

对衬底执行曝光工艺，从而在所述衬底上形成光刻胶图案，执行所述曝光工艺包括：

在第一方向上扫描所述图案发生器；以及

在所述图案发生器的扫描期间，控制第一组网格段以在段之间具有时延。