[发明专利]一种通过对长工作距显微物镜改装的干涉显微物镜

说明书

技术领域

本发明属于干涉测量领域，具体涉及一种通过对长工作距显微物镜改装的干涉显微物镜，通过增加方便拆卸的参考镜和分光镜，将普通显微物镜改造成的干涉显微物镜。

背景技术

干涉显微镜主要有Michelson、Mirau和Linnik三种类型。Mirau干涉显微镜根据显微物镜的工作距离来设计参考镜和分光镜之间的距离，使由参考镜和待测件反射的光束的光程差为零，光束发生干涉后得到干涉图像，从而可以分析待测件的特性。它只使用了一个显微物镜，物镜对参考光束和测量光束的影响相同，不会引入附加的光程误差，另外参考镜和待测件相对于分光镜的距离相等，不需要补偿板即可实现干涉。

Mirau（米洛）型干涉显微镜是目前结构最简单、使用最多的一种通过对长工作距显微物镜改装的干涉显微物镜类型，Mirau型干涉显微检测技术在材料研究、生物医学、数据存储盘以及精密加工表面检测等领域已得到广泛应用。陶纯堪的专利《Mirau型物镜及使用该物镜的干涉显微镜和测量系统》，专利号201220363110，系统中使用的Mirau型干涉显微镜是将干涉系统和显微系统分置的，这样必将增加仪器的体积和装调复杂程度。张红霞等人提出的一种Mirau干涉物镜的优化设计利用支撑板的下表面反射光束，这样会导致光程变长，显微物镜的工作距不能得到充分利用。Sagamihara-shi等人的专利，专利号US 2012/0099115 A1，其中提出了一种Mirau型干涉显微物镜是将参考镜和分光镜固定在一个套筒中，然后将套筒与显微物镜组合，该方法虽然使干涉显微物镜的结构简易化，但是无法调节参考镜和分光镜之间距离，仍然限制了装置的适用范围，而且两镜之间的距离精度只能由加工精度决定。

发明内容

本发明的目的在于提供一种通过对长工作距显微物镜改装的干涉显微物镜，本装置可便捷地将普通显微物镜改造成干涉显微物镜，可方便安装卸载参考镜和分光镜，并且能够微调参考镜和分光镜之间距离使其能够适用于不同工作距离的显微物镜。

实现本发明目的的技术解决方案为：一种通过对长工作距显微物镜改装的干涉显微物镜装置，包括显微物镜、第一套筒组件和第二套筒组件，第一套筒组件一端通过螺纹固定在显微物镜上，另一端与第二套筒组件连接，通过止螺固定第二套筒组件，第一套筒组件与第二套筒组件连接面带有螺纹，用于调节参考镜和分光镜之间的距离，第一套筒组件包括第一套筒、第一压圈、参考镜，第一套筒通过螺纹固定在显微物镜上，另一端带有三阶台阶，靠近显微物镜镜头的台阶半径最小，为第一台阶，其后分别为第二台阶和第三台阶，第一压圈通过螺纹将参考镜固定在第一套筒的第一台阶下表面，第二套筒组件包括第二套筒、第二压圈、分光镜，第二套筒底部带有两阶台阶，靠近待测件的台阶半径最小，为第四台阶，其后为第五台阶，第二压圈通过螺纹将分光镜固定在第二套筒的第四台阶上表面。