[发明专利]具有高动态范围的图像传感器像素阵列

权利要求书

1.一种图像传感器的像素阵列，其特征在于，包括多个单位像素，每个所述单位像素包括：

一个沟槽，自衬底上表面向下形成于所述衬底中；

至少一个感光二极管，形成于所述沟槽的侧壁；以及

至少一个反射镜，设置于所述沟槽底部且相对于所述沟槽底部倾斜，用以相应向所述感光二极管反射入射光；

其中所述沟槽底部为正方形，所述感光二极管成对的形成于所述沟槽相对的侧壁且每一所述单位像素的所述感光二极管为一对；相邻所述单位像素的感光二极管在所述沟槽底部的投影方向相互垂直。

2.根据权利要求1所述的像素阵列，其特征在于，所述感光二极管与所述沟槽侧壁相重叠的面积之和大于等于所述沟槽的底面积。

3.根据权利要求1所述的像素阵列，其特征在于，相邻所述单位像素的沟槽间的距离与所述正方形边长相同；所述感光二极管的宽度和长度以及所述沟槽的深度均与所述正方形边长相同。

4.根据权利要求1所述的像素阵列，其特征在于，所述反射镜的数量与所述感光二极管的数量相同。

5.根据权利要求1所述的像素阵列，其特征在于，所述反射镜的高度小于等于所述沟槽的深度。

6.根据权利要求1所述的像素阵列，其特征在于，所述沟槽自所述衬底上表面垂直向下形成于所述衬底中。

7.根据权利要求1所述的像素阵列，其特征在于，所述像素阵列还包括介质层，金属层以及微透镜，所述介质层形成于所述沟槽及所述衬底上方，所述微透镜相应设置于所述沟槽上方的所述介质层之上。