[发明专利]一种内冷却固结磨料研磨盘

说明书

技术领域

本发明属于固结磨料研磨加工领域，特别涉及一种用于硅片、蓝宝石、陶瓷和玻璃等材料单面或双面研磨的内冷却固结磨料研磨盘。

背景技术

固结磨料研磨是指用结合剂将磨料固结在磨块中，将磨块粘接在基体上形成研磨盘，对工件进行研磨加工的工艺，主要有单面研磨和双面研磨两种方式。与游离磨料研磨相比，固结磨料研磨具有研磨效率高，表面质量好等优点，因而得到广泛应用，常被用来加工硅片、蓝宝石、陶瓷和玻璃等材料。固结磨料研磨过程中会产生大量的热量，因此需要冷却液进行冷却。目前，各种材料的单面或双面研磨多采用输送管喷射冷却液进行研磨盘和工件的冷却，这种冷却方式中冷却液由研磨盘外部的一侧喷入，造成冷却液在研磨盘与工件之间分布不均匀，冷却效果差。为改善冷却效果，中国发明专利申请号为200810219023.6，发明人王成勇等，专利名称：一种带有研磨盘冷却机构的平面研磨机，该专利公开了一种带有研磨盘冷却机构的平面研磨机，即在研磨盘底部开有冷却回路，流经研磨盘底部的冷却液能及时带走研磨盘各区域积聚的热量，这种结构的研磨盘仅适用于游离磨料研磨，冷却液很难带走固结磨料研磨磨削层产生的热量。

综上所述，现有的固结磨料研磨盘冷却方式具有以下缺点：第一，在实际研磨过程中，研磨机的高速转动和强大压力使研磨盘表面产生大量的热量，需要大量的冷却液冷却加工区域，冷却液利用率低，造成资源浪费，且冷却效果差，容易烧伤研磨盘和所研磨工件，使研磨盘寿命变短，加工工件质量变差；第二，在研磨过程中，会产生大量磨屑，现有的研磨方式不利于磨屑的排出，容易使磨屑聚集在研磨盘磨块的气孔内造成研磨盘堵塞，使研磨盘自锐性变差，加工效率降低，同时也容易造成研磨盘和工件烧伤。

发明内容

本发明专利的目的就是针对现有的固结磨料研磨工艺存在的缺点，发明一种冷却液由磨块表面气孔中流出，直接冷却磨削区域，所以，增强冷却效果，防止研磨盘堵塞，从而防止研磨盘和工件烧伤的内冷却固结磨料研磨盘。

本发明专利采用以下技术方案来实现：一种内冷却固结磨料研磨盘，研磨盘内部具有冷却液循环通道，研磨盘由含有磨料的多孔磨块3、带有多个孔道2a的基板2和开有中心孔1a及沟槽1b的分流板1组成，每个多孔磨块3均通过粘结剂4固定在基板2上的一个孔道2a的一端，孔道2a贯通基板2；多孔磨块3中大气孔3a互相连通，基板2与分流板1开有沟槽1b的一面固连，分流板1上开有一个中心孔1a，中心孔1a与沟槽1b互相连通，分流板中心孔1a、分流板沟槽1b、分流板径向沟槽1c和基板孔道2a以及多孔磨块3中的大气孔3a构成冷却液循环通道。

在内冷却固结磨料研磨盘中，多孔磨块3中的磨料为金刚石磨料、立方氮化硼磨料、碳化硅磨料、刚玉磨料或其他磨料；多孔磨块3所用结合剂为陶瓷结合剂、树脂结合剂或其他结合剂；多孔磨块3为圆形磨块、多边形磨块或其他异形磨块；孔道2a的排列方式为圆环形、螺线形或其他形状；沟槽1b为扇形，圆环形、螺线形或其他形状。

在内冷却固结磨料研磨盘中采用的冷却液是不含磨料的水或是加入所需成分的研磨液。

本发明的有益效果是研磨盘拆装方便，可以快速实现不同种类研磨盘之间的更换。由于冷却液由磨块表面气孔中流出后，直接冷却磨削区域，冷却效果明显；冷却液以相同的流量由每一个磨块表面气孔中流出，冷却效果均匀；冷却液能够及时冲出堵塞在磨块气孔中的磨屑，有效地防止研磨盘的堵塞；所以，能够有效地防止研磨盘和工件的烧伤，加工出的工件尺寸精度高，表面粗糙度好。

附图说明

图1是本发明的示意图；图2是扇形沟槽的分流板示意图；图3是圆环形沟槽的分流板示意图；图4是螺线形沟槽的分流板示意图；图5是孔道圆环形排列的基板示意图；图6是孔道螺线形排列的基板示意图；图7是圆形磨块示意图；图8是六边形磨块示意图；图9是磨块与基板粘结示意图。其中：1-分流板，1a-分流板中心孔，1b-分流板沟槽，1c-分流板径向沟槽，2-基板，2a-基板孔道，3-多孔磨块，3a-大气孔，4-粘结剂。

具体实施方式

下面参照附图和技术方案对本发明专利的具体实施方式进行说明。在附图1中，研磨盘由含有磨料的多孔磨块3、带有多个孔道2a的基板2和开有中心孔1a及沟槽1b的分流板1组成，每个磨块3均通过粘结剂4固定在基板2上一个孔道2a的一端，基板2与分流板1开有沟槽1b的一面固连，使用时，研磨盘的分流板1与研磨机固连。