[发明专利]一种辅助工艺流程的实验控制系统及方法有效
| 申请号： | 201310122196.7 | 申请日： | 2013-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN103257635A | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 朱燕萍;娄晓祺;俞晓菁 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 辅助 工艺流程 实验 控制系统 方法 | ||
1.一种辅助工艺流程的实验控制系统，至少包括：
预设模组，用于于一次实验设计中预设所有实验条件；
主流程执行模组，用于定义主流程的开始站点及结束站点，并执行本次实验的主流程；
多次分批实验模组，据预设的实验条件，于主流程的中间过程利用虚拟站点进行连接，对预设的实验条件进行分批实验；以及
合并模组，用于依次对多次分批实验的结果进行合并。
2.如权利要求1所述的一种辅助工艺流程的实验控制系统，其特征在于：该多次分批实验模组在主流程的中间过程支持多次的分批，该合并模组对多次分批实验的结果支持多次的合并。
3.如权利要求1所述的一种辅助工艺流程的实验控制系统，其特征在于：该多次分批实验模组可根据实验的结果作部分的返工。
4.一种辅助工艺流程的实验控制方法，包括如下步骤：
步骤一，于一次实验设计中预设所有实验条件；
步骤二，定义主流程的开始站点及结束站点，并执行本次实验的主流程；
步骤三，根据预设的实验条件，于主流程的中间过程利用虚拟站点进行连接，对各个预设的实验条件进行多次分批实验；
步骤四，依次对多次分批实验的结果进行合并。
5.如权利要求4所述的一种辅助工艺流程的实验控制方法，其特征在于：于步骤三中，可根据结果作部分的返工。
6.如权利要求4所述的一种辅助工艺流程的实验控制方法，其特征在于：于步骤三中，可在各分批实验中对关键支撑设置一定的实验容许时间。
7.如权利要求4所述的一种辅助工艺流程的实验控制方法，其特征在于：于步骤一中，可重新定义量测数据的上下限以及标准规格。
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