[发明专利]锑化铟红外探测器脱水处理方法

权利要求书

1.一种锑化铟红外探测器脱水处理方法，其特征在于，包括：

对台面腐蚀之后的锑化铟红外探测器进行清洗处理；

将清洗之后的所述锑化铟红外探测器放入甲醇中进行脱水处理；

将脱水处理后的所述锑化铟红外探测器放在臭氧氧化设备内，进行干燥处理和臭氧氧化处理。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，进行清洗处理具体包括：

使用电阻率大于12MΩ的去离子水对所述锑化铟红外探测器进行清洗，冲洗时间为30-60分钟。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，进行脱水处理具体包括：

将预处理后的所述锑化铟红外探测器浸没在甲醇溶液中进行脱水处理，时间为1-3分钟，并重复多次。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在干燥处理之前进一步包括：

使用氮气将脱水处理后的所述锑化铟红外探测器表面的甲醇吹散至所述锑化铟红外探测器的外围。

5.根据权利要求1、2或4所述的方法，其特征在于，所述干燥处理的温度和所述臭氧氧化的温度均为70-120摄氏度，所述臭氧氧化时间为20-40分钟。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述干燥处理的温度为80-100摄氏度。

7.根据权利要求1、2或4所述的方法，其特征在于，所述臭氧氧化处理的步骤具体包括：

打开所述臭氧氧化设备内的氧气和紫外线灯，使所述锑化铟红外探测器在加热和臭氧条件下进行氧化。

8.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述臭氧氧化的温度为80-100度。

9.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述臭氧氧化时间为30分钟。

10.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述臭氧氧化处理的步骤之后，进一步包括：

将臭氧氧化后的所述锑化铟红外探测器进行钝化处理。