[发明专利]图案形成装置

说明书

技术领域

本发明涉及通过使担载体与板状的物体相抵接来由物体向担载体形成图案或由担载体向物体形成图案的装置。

背景技术

作为上述这样的装置，以往已知例如专利文献1所记载的发明。在该发明中，在使橡皮布（担载体）与版（物体）相抵接在橡皮布上形成图案层后，使在橡皮布上所形成的图案层与基板（物体）相抵接将图案层转印到基板上。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2010-158799号公报

在这样的技术中，虽然需要在使物体在保持在规定的位置的状态下使物体与担载体相抵接，但是专利文献1中关于怎样保持物体没有具体的记载。在此，作为保持物体的方法，能够利用例如吸附技术。这是通过对例如吸附垫等的吸附单元供给负压以形成减压状态来吸附保持物体的技术。然而，通过吸附保持物体，有可能产生以下那样的问题。即，当对版、基板等的板状的物体进行局部吸附保持时，这些被吸附的部分会凹下，有可能不能在该部分进行良好的图案形成。另外，在与担载体的图案形成区域相对的区域中在多个部位吸附板状的物体的情况下，因吸附强度之差而使物体的平面度恶化，从而有可能引起图案形成不良。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于，提供一种能够良好地进行图案形成的图案形成装置。

为了实现上述目的，本发明的图案形成装置使担载体上的图案形成区域与板状的物体相抵接来进行形成图案，其特征在于，具有：负压供给单元，用于供给负压；吸附单元，利用由负压供给单元供给的负压来吸附保持物体，吸附单元对物体上的在形成图案时与图案形成区域相向的区域的外侧进行吸附。

根据本发明，板状的物体中的在形成图案时与担载体上的图案形成区域相向的区域（以下称为“有效区域”）的外侧被吸附。即，由于物体的有效区域未被吸附，所以能够防止在有效区域中发生由吸附导致的局部的凹陷和平面度的下降。其结果，能够良好地进行图案形成。

在此，在本发明的图案形成装置中，优选吸附单元具有：吸附板，在该吸附板的用于吸附保持物体的吸附面上的与图案形成区域相向的区域的外侧，设置有由负压供给单元供给负压的开口；多个局部吸附部，在物体上的比图案形成区域更靠外侧的区域，多个局部吸附部分别局部地吸附物体。

这样，通过在吸附板的吸附面中的在形成图案时与图案形成区域相向的区域的外侧形成开口，从而该开口对物体的有效区域的外侧进行吸附。另外，多个局部吸附部吸附图案形成区域的外侧，从而使多个局部吸附部吸附物体的有效区域的外侧。进而，作为吸附单元，包括具有开口的吸附板和能够吸附保持局部区域的多个局部吸附部，从而能够根据各工序适当分开使用吸附保持的方式，从而能够最适当地进行图案形成。

另外，优选多个局部吸附部中的至少一部分局部吸附部是能够在特定方向上发生弹性变形的吸附垫，该特定方向是指，在使物体和担载体相抵接后，使物体和担载体分离的方向。在使物体和担载体相抵接后使物体和担载体分离的剥离时，板状的物体有可能被向担载体侧拉伸而变形，导致物体破损。然而，若做成在剥离时吸附保持物体的多个局部吸附部的至少一部分能够在分离方向上发生弹性变形的吸附垫，则在剥离时物体被向担载体侧拉伸时通过使吸附垫发生弹性变形，能够抑制物体的变形。其结果，能够抑制在剥离时板状的物体发生破损。

另外，优选开口为包围吸附面上的在形成图案时与图案形成区域相向的区域的吸附槽。这样，若将在吸附板上形成的开口做成吸附槽，则能够减小开口面积。其结果，由于能够减少为吸附保持物体而应向吸附板的开口供给的负压量，所以能够进行快速的吸附保持。另外，该吸附槽通过包围吸附板中的在图案形成时与图案形成区域相向的区域，能够通过吸附板稳定地保持物体的有效区域。

另外，优选多个局部吸附部在吸附板上比吸附槽更靠外侧。在利用多个局部吸附部吸附保持板状的物体的情况下，在各局部吸附部之间物体有可能发生弯曲。然而，若将多个局部吸附部配置在吸附槽的外侧，则能够抑制弯曲的影响波及位于吸附槽的内侧的物体的有效区域。因此，能够更加良好地进行图案形成。

根据本发明，板状的物体中的在图案形成时与担载体上的图案形成区域相向的有效区域的外侧被吸附，有效区域不会被吸附。因此，能够防止由吸附导致的有效区域的局部的凹陷和平面度的下降，从而能够良好地进行图案形成。

附图说明

图1是表示配备有本发明的图案形成装置的印刷装置的立体图。

图2是示意性示出图1所示的印刷装置的剖面的图。