[发明专利]光束夹角测量装置有效
| 申请号: | 201310116695.5 | 申请日: | 2013-04-07 |
| 公开(公告)号: | CN103234509A | 公开(公告)日: | 2013-08-07 |
| 发明(设计)人: | 王振云;王琦;唐庆勇;张大伟;黄元申;洪瑞金;倪争技;覃靖明 | 申请(专利权)人: | 上海理工大学 |
| 主分类号: | G01C1/00 | 分类号: | G01C1/00 |
| 代理公司: | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人: | 郁旦蓉 |
| 地址: | 200093 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 光束 夹角 测量 装置 | ||
技术领域
本发明涉及一种光束夹角测量装置,特别涉及一种能够测量在同一相交点相交的两条光束之间的夹角的光束夹角测量装置。
背景技术
光束之间的夹角测量具有广泛的应用领域,例如在全息曝光过程中对光栅线数的控制。光栅的制作方式最传统的就是全息曝光显影,而制作中最关键的光栅参数之一就是光栅周期,而光栅周期直接由相干涉的两束光的之间夹角决定。传统方式中两束光之间的夹角通过转台来获得,将干涉光中的其中一条光束垂直入射到转台中心的一个接受面上,固定转台,读出此时转台处于的位置所显示的一个角度值,再用同样的方法读出另一条光束所对应的另一角度值,最后通过两个角度值相减计算得到两条光束之间的夹角。传统方式具有误差较大的缺点,原因主要在于曝光干板所对应的转台中心的位置难以固定,调节麻烦。另外,由于每次曝光的夹具不同,曝光干板所对应的转台中心的位置也不同,需要重新调节转台中心,也就使实验过程的误差更大、繁琐程度更大。中国发明专利案(CN 101718547A)中公开了夹角检测装置和方法中并没有针对两条光束之间的夹角测量。
发明内容
本发明的目的在于提供一种结构简单、操作方便以及通用性强的可测量两条光束之间夹角的光束夹角测量装置。
本发明提供的一种用于测量在相交点相交的两条光束之间的夹角的光束夹角测量装置,具有这样的特征: 包括:圆柱体形的本体,具有底面和侧壁;复数个入光感应部,位于侧壁的一侧,用于与相交点重合并且接收两条光束的穿射,复数个入光感应部和底面之间的距离互异;入光采集部,用于采集两条光束在入光感应部上形成的两个入光点;复数个感光档位部,位于与复数个入光感应部对向的侧壁的另一侧,用于接收两条光束的入射,每个感光档位部沿着侧壁具有一定高度,复数个感光档位部与复数个入光感应部匹配设置;感光采集部,用于采集两条光束在感光档位部上形成的两个感光点;存储部,用于存储报警命令、本体的直径以及感光点对应的弧长值;控制部,用于判断入光点的数量并且当两个入光点重合时控制感光采集部采集感光点否则发送报警命令;计算部,用于根据直径以及两个感光点之间的弧长差来计算得出夹角;报警部,用于根据报警命令进行报警;显示部,用于显示夹角;以及调节架,用于固定盛放本体以调节两条光束来入射复数个入光感应部中的任意一个,其中,两个光束所形成的平面与侧壁相垂直。
在本发明的光束夹角测量装置中,还可以具有这样的特征:其中,本体对应于入光感应部的位置设有复数个圆孔,复数个入光感应部被分别设置在复数个圆孔中。
在本发明的光束夹角测量装置中,还可以具有这样的特征:其中,入光感应部含有可接收两条光束穿射的并且透光的光敏材料。
在本发明的光束夹角测量装置中,还可以具有这样的特征:其中,复数个感光档位部为两个,分别为敏感波段为150纳米至550纳米的磷化镓和敏感波段为600纳米至640纳米的硅光电材料。
在本发明的光束夹角测量装置中,还可以具有这样的特征:其中,感光采集部中设有遍布复数个感光档位部的复数个开关电路,控制部根据采集到感光点所对应的开光电路的开启闭合信号来确定感光点的位置从而得到对应的弧长差。
在本发明的光束夹角测量装置中,还可以具有这样的特征:其中,两条光束为处于同一波段范围的可见激光。
本发明的效果在于:
本发明提供的一种光束夹角测量装置操作方便、结构简单,通过移动本体将入光感应部移放到两条光束相交点的位置,如果移动到与相交点重合的位置则不报警,否则没有放置到正确的位置采集到两个入光点则报警提示继续移动,即使针对不可见光也具有较强的通用性。
感光采集部分别采集到的两个感光点的弧长后可得出弧长差,而本体具有的固定的直径值存储在存储部中,只要满足上述相交点处于入光感应部和垂直入射本体侧壁的两个条件任意夹角方向的两条光束都可得出其光束夹角值,并且由显示部直接显示,读数方便、灵活性高。
附图说明
图1是本发明的实施例中光束夹角测量装置的结构示意图;
图2是本发明的实施例中光束夹角测量装置的结构框图;
图3是本发明的实施例中光束夹角测量装置的入射示意图;
图4是本发明的实施例中光束夹角测量装置的原理示意图。
具体实施案例
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明的实施例中光束夹角测量装置的结构示意图。
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