[发明专利]碱可溶树脂及其制备方法、光刻胶组合物有效

专利信息
申请号: 201310116385.3 申请日: 2013-04-03
公开(公告)号: CN103232603A 公开(公告)日: 2013-08-07
发明(设计)人: 王雪岚;唐琛;常珊 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司
主分类号: C08G81/02 分类号: C08G81/02;C08G65/00;G03F7/027
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 罗建民;陈源
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 可溶 树脂 及其 制备 方法 光刻 组合
【权利要求书】:

1.一种碱可溶树脂,其特征在于,所述的碱可溶树脂为丙烯酸碱可溶树脂接枝聚醚链。

2.如权利要求1所述的碱可溶树脂,其特征在于,所述的聚醚链结构式如下:

其中:n为7-30范围内的整数。

3.如权利要求1所述的碱可溶树脂,其特征在于,所述的丙烯酸碱可溶树脂采用包括甲基丙烯酸酯、胺改性丙烯酸酯、多环芳侧基丙烯酸碱可溶树脂、高支化碱溶型丙烯酸化聚酯中的任意一种。

4.如权利要求1所述的碱可溶树脂,其特征在于,所述的碱可溶树脂的结构式中的碳原子数小于100。

5.一种如权利要求1-4任一所述的碱可溶树脂的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

1)己二酸活化物的制备

将己二酸、1,3-二溴-5,5-二甲基海因在溶剂二氯甲烷中反应获得1-溴己酸;将1-溴己酸与氢氧化钠反应获得1-羟基己酸钠;将1-羟基己酸钠与丙烯酰氯反应获得己二酸活化物;

2)含聚醚链的一元酸的制备

将聚乙二醇和己二酸活化物在溶剂N,N-二甲基甲酰胺中进行反应获得含聚醚链的一元酸;

3)含聚醚链的丙烯酸碱可溶树脂的制备

将含聚醚链的一元酸和丙烯酸碱可溶树脂在N,N-二甲基甲酰胺溶剂中进行反应获得含聚醚链的丙烯酸碱可溶树脂。

6.如权利要求5所述的碱可溶树脂的制备方法,其特征在于,步骤2中聚乙二醇、己二酸活化物的质量份数之比的范围为1︰0.5至1︰0.95。

7.如权利要求5所述的碱可溶树脂的制备方法,其特征在于,步骤3中含聚醚链的一元酸、丙烯酸碱可溶树脂的质量份数之比的范围为1︰0.45至1︰0.83。

8.一种光刻胶组合物,其特征在于,所述的光刻胶组合物包括如权利要求1-4任一所述的碱可溶树脂。

9.如权利要求8所述的光刻胶组合物,其特征在于,所述的光刻胶组合物,包括以下质量百分比的组分:

碱可溶树脂:7%-24%;

光活性化合物:10%-22%;

光致引发剂:1.3%-12.5%。

10.如权利要求8所述的光刻胶组合物,其特征在于,所述的光致引发剂包括安息香类物质、二苯甲酮类物质、蒽醌类物质的一种或几种。

11.如权利要求8所述的光刻胶组合物,其特征在于,所述的光活性化合物包括双季戊四醇五丙烯酸酯、双季戊四醇六丙烯酸酯、异戊四醇四丙烯酸酯、乙氧基化异戊四醇四丙烯酸酯中的一种或几种。

12.如权利要求8所述的光刻胶组合物,其特征在于,所述的光刻胶组合物,还包括溶剂组分,所述的溶剂包括丙二酮甲醚醋酸酯、丙二醇二乙酸酯、3-乙氧基-3-亚胺丙酸乙酯、2-庚烷、3-庚烷、环戊酮、环己酮中的一种或几种。

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