[发明专利]陀螺传感器及使用了该陀螺传感器的电子设备有效
申请号: | 201310116379.8 | 申请日: | 2013-04-03 |
公开(公告)号: | CN103363980B | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 古畑诚;田中悟 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G01C19/5719 | 分类号: | G01C19/5719;G01C19/5747 |
代理公司: | 北京金信知识产权代理有限公司11225 | 代理人: | 黄威,苏萌萌 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 陀螺 传感器 使用 电子设备 | ||
1.一种陀螺传感器,其特征在于,
具备:
驱动质量块,其通过驱动部而在第一方向上被驱动;
检测质量块,其与所述驱动质量块相连结;
驱动用连结部,其一端被连结在所述驱动质量块上,而另一端被固定在第一固定部上;
第一岛部,其与所述第一固定部相连接,且以与所述驱动质量块隔着间隙的方式而配置,并且与该驱动质量块电连接;
突起,其被设置在所述驱动质量块的对置于所述第一岛部的面、与所述第一岛部的对置于所述驱动质量块的面中的至少一个面上,
所述驱动部包括:
可动电极部,其与所述驱动质量块相连接;
固定电极部,其以与所述可动电极部对置的方式而设置,
所述驱动质量块与所述第一岛部之间的最短距离大于所述驱动质量块的驱动振幅,并且小于所述可动电极部的最大振幅。
2.如权利要求1所述的陀螺传感器,其特征在于,
所述第一岛部在与所述驱动质量块对置的位置处,具备朝向所述驱动质量块而延伸设置、并对所述第一岛部与所述驱动质量块之间的距离进行规定的第一距离规定部,
所述突起被设置于,所述驱动质量块的对置于所述第一距离规定部的面、与所述第一距离规定部的对置于所述驱动质量块的面中的至少一个面上。
3.如权利要求1或2所述的陀螺传感器,其特征在于,
沿着所述第一方向而设置有两个所述驱动质量块,
所述陀螺传感器具备:
中间连结部,其连结所述两个驱动质量块,并且中间部通过第二固定部而被固定;
第二岛部,其被配置在所述两个驱动质量块之间,并且与所述第二固定部相连接;
突起,其被设置在所述驱动质量块的对置于所述第二岛部的面、以及所述第二岛部的对置于所述驱动质量块的面中的至少一个面上。
4.如权利要求3所述的陀螺传感器,其特征在于,
所述第二岛部在与所述两个驱动质量块中的每一个驱动质量块相对置的位置处,具备朝向该驱动质量块而延伸设置、并对所述第二岛部与该驱动质量块之间的距离进行规定的第二距离规定部,
所述突起被设置于,所述驱动质量块的对置于所述第二距离规定部的面、与所述第二距离规定部的对置于所述驱动质量块的面中的至少一个面上。
5.如权利要求1所述的陀螺传感器,其特征在于,
沿着与所述第一方向交叉的方向而设置有至少一对所述第一岛部。
6.如权利要求1所述的陀螺传感器,其特征在于,
所述检测质量块通过检测用连结部而与所述驱动质量块相连结,
在所述检测质量块与所述检测用连结部中的至少一方上设置有突起。
7.如权利要求1所述的陀螺传感器,其特征在于,
所述固定部被固定在基板上,
在所述基板的俯视观察时与所述驱动质量块重叠的位置、以及俯视观察时与所述检测质量块重叠的位置中的至少一个位置处,设置有突起。
8.一种电子设备,具备权利要求1所述的陀螺传感器。
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