[发明专利]提拉泡生法生长晶体的装置

权利要求书

1.一种提拉泡生法生长晶体的装置，其特征在于，包括：

夹持籽晶的复合型籽晶杆（2），所述复合型籽晶杆（2）包括可相互分离或接合的主水冷杆（19）与籽晶夹具（21），所述主水冷杆（19）和籽晶夹具（21）能够独立地上下运动和顺逆旋转运动； 

容纳有用于生长晶体的熔体的坩埚（11）；以及

温场调节单元，所述温场调节单元包括发热体（7）、上保温罩（8）、侧保温层（3）和下保温层（10），所述上保温罩（8）位于所述坩埚（11）的上方且能够升降，所述发热体（7）位于所述坩埚（11）和侧保温层（3）之间。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述上保温罩（8）为钟罩形保温罩，包括圆筒形钨热套筒或钼热套筒（27）和位于所述钨热套筒或钼热套筒（27）上部由多片环形钨隔热片和/或钼隔热片组成的上保温屏（26）。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述上保温罩（8）上设有观察口（25）。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的装置，其特征在于，所述发热体（7）为围绕所述坩埚（11）设置的鸟笼形钨发热体。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的装置，其特征在于，所述复合型籽晶杆（2）还包括位于所述主水冷杆（19）和籽晶夹具（21）之间的导热弹簧（20）。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的装置，其特征在于，所述主水冷杆（19）的底部设置有卡齿（23）、所述籽晶夹具（21）的上表面设置有卡齿（28）。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的装置，其特征在于，所述侧保温层（3）为由多片圆筒形钨隔热片和/或钼隔热片组成的侧保温屏， 所述下保温层（10）为由多片圆盘形钨隔热片和/或钼隔热片组成的底保温屏。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的装置，其特征在于，所述装置还包括位于所述侧保温层（3）外侧的外炉壳（4），所述外炉壳（4）的内层贴覆有一层氧化铝陶瓷纤维层（5）。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的装置，其特征在于，所述装置还包括气氛调节单元，所述气氛调节单元包括：保护气储存装置、气压传感器、充气开关、减压阀门和真空泵；

用于提拉和/或旋转所述复合型籽晶杆（2）的籽晶杆提拉旋转单元；

用于升降所述上保温罩的上保温罩升降单元；以及

与所述气氛调节单元、籽晶杆提拉旋转单元、上保温罩升降单元通信连接的中央控制单元。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的装置，其特征在于，所述装置还包括坩埚支撑单元，所述坩埚支撑单元包括坩埚底座（6）和坩埚托（9）。