[发明专利]极紫外光刻光源收集镜污染测量装置

权利要求书

1.一种极紫外光刻光源收集镜污染测量装置，其特点在于，该装置包括准直激光光源（1）、线起偏器（2）、消偏振分光器（3）、样品器(4)、四分之一波片（5）、同步移相器（6）、信号处理系统（7）和极紫外光源收集器（8），其位置关系是：所述的样品器(4)由双折射薄膜层（41）、基底（42）组成，所述的双折射薄膜层的相位延迟量为90°，双折射薄膜层（41）的快轴与所述的线起偏器（2）的透振轴成45°角，所述的样品器(4)被嵌在所述的极紫外光源收集器（8）上或置于所述的极紫外光源收集器（8）的边缘，所述的准直激光光源（1）出射的准直光束依次经过所述的线起偏器（2）和所述的偏振分束器（3）后，在所述的样品器(4)的前表面和后表面分别反射形成反射光，该反射光被所述的消偏振分光器（3）的分光面反射后依次经过所述的四分之一波片（5）和所述的同步移相器（6），最后被所述的信号处理系统（7）所接收，所述的四分之一波片（5）的快轴与所述的线起偏器（2）的透振轴成45°角。

2.根据权利要求1所述的极紫外光刻光源收集镜污染测量装置，其特征在于所述的线起偏器（2）为偏振片、偏振棱镜或偏振相位掩膜。

3.根据权利要求1所述的极紫外光刻光源收集镜污染测量装置，其特征在于所述的消偏振分光器（3）为镀有消偏振分光膜的平板或分光棱镜。

4.根据权利要求1所述的极紫外光刻光源收集镜污染测量装置，其特征在于所述的四分之一波片（5）为晶体材料型四分之一波片、多元复合型四分之一波片、反射棱体型四分之一波片或双折射薄膜型四分之一波片。

5.根据权利要求1所述的极紫外光刻光源收集镜污染测量装置，其特征在于所述的同步移相器（6）同时产生多幅依次具有一定位相差的位相叠加图。

6.根据权利要求1所述的极紫外光刻光源收集镜污染测量装置，其特征在于所述的信号处理系统（7）由图像采集CCD和带有位相叠加图处理与分析软件的计算机组成。