[发明专利]长形条研磨用夹具、研磨装置以及研磨方法

说明书

技术领域

本发明涉及信息记录磁盘驱动器领域，尤其涉及一种在磁头制造过程中的长形条研磨方法及研磨装置。

背景技术

磁盘驱动器是常用的信息存储装置，通常包含多个安装于主轴马达上的用于存储数据的旋转磁盘以及从磁盘读取或向磁盘写入数据的磁头。人们对磁盘驱动器的容量要求越来越高，虽然增加磁盘的磁轨记录密度可增加磁盘驱动器的容量，但相应地需要提高磁头的性能以使其更精确地定位于磁轨上。

磁头大体呈长方体状，其前后两个侧面分别称为前面及尾随面，磁头上连接该前面及尾随面且面向磁盘表面的面形成空气承载面（air bearing surface,ABS）。其中，尾随面中央通过沉淀方式形成极尖，其内形成有读写元件。读元件用来读取磁盘上的信息，包括两屏蔽层以及夹设于两者之间的MR元件（magnetoresistive element,MR element）。将MR元件高度（从ABS按垂直方向测量的MR元件的高度）形成为设计值，对MR元件的读取能力极为重要，进而决定了磁头的读取性能。

由于MR元件高度是在晶片上层积MR元件时，通过先将MR元件高度形成为比设计值大，然后研磨ABS一侧，并去除MR元件的剩余部分来获得。因此，ABS研磨量的精度对确保MR元件高度的精度极为重要。

另外，对向磁盘写入信息的感应型磁变换元件来说，将狭道高度（进行写入的两个相对的磁极部分从ABS沿垂直方向测量的高度）形成为设计值对磁头的写入性能是很重要的。由于狭道高度也是根据ABS的研磨而形成，同样的，ABS研磨量的精度也很重要。

然而，由于ABS存在于由磁头以二维方式形成的晶片表面的垂直方向（晶片的厚度方向），在进行研磨时，为露出ABS而需要预先将晶片切断。因此，需要将晶片按研磨面露出的方向切断，并形成由磁头一维排列而形成的长形条。为了提高加工效率，以长形条的形态将研磨面进行研磨（再切断长形条并按分割后的每个磁头小片进行作业则效率低，因此不可取）。

长形条在被研磨之前通常被固定至一夹具上，并被压触到旋转的研磨台上研磨未与夹具接触的ABS表面。因此，在长形条的研磨中，不仅要确保成为磁头的各个部分的研磨量的精度，还要均匀地研磨整个长形条，即要确保整个长形条的平面度，这一步骤极为重要。

但是，现有技术在研磨长形条时，长形条的研磨量仅由研磨时间控制。即要得到预定的研磨量，只需定期监测研磨台的研磨速率，再设定相应的控制时间即可。通常研磨速率会随着研磨的运行逐渐减小，因此最后的研磨量肯定是波动的、不精确的。且长形条在其长度方向并未均匀地被压紧，因而在其长度方向位置会产生研磨量的偏差。因而存在制造出未形成设计MR元件高度或狭道高度的磁头、磁头读写性能下降、成品率下降等问题。

因此，亟待一种长形条研磨用夹具、研磨装置以及研磨方法，以克服上述缺陷。

发明内容

本发明的一个目的在于提供一种长形条研磨用夹具，所述夹具可实时监测长形条读写元件的电阻且可根据该电阻校正长形条的弯曲度。

本发明的另一目的在于提供一种长形条的研磨装置，所述研磨装置可实时监测长形条读写元件的电阻且可根据该电阻校正长形条的弯曲度。

本发明的又一目的在于提供一种长形条的研磨方法，所述研磨方法可实时监测长形条读写元件的电阻且可根据该电阻校正长形条的弯曲度。

为达到以上目的，本发明提供一种长形条研磨用夹具，安装于一研磨台上，包括用于夹持长形条的夹具本体以及设置于所述夹具本体上的检测单元及校正单元，所述检测单元与所述长形条的读写元件相连以实时检测所述读写元件的电阻，所述校正单元用于根据所述电阻校正所述长形条的弯曲度。

具体地，所述长形条的读写元件在其内部通过传感器与所述长形条表面的连接触点电性连接，所述检测单元包括与所述连接触点一一接触的数根探针，即可测得长形条内每一读写元件的电阻。

较佳地，所述校正单元包括作用于所述夹具本体上的第一校正单元及作用于所述长形条上的第二校正单元。所述第一校正单元用于粗调所述长形条的弯曲度，所述第二校正单元用于细调所述长形条的弯曲度。

具体地，所述第一校正单元包括左右两施压部，可左右施压以调整所述长形条的倾斜度或弯曲度使所述长形条大致位于一平面上。

具体地，所述第二校正单元包括若干根推针。较佳地，所述推针的数量与所述长形条的磁头的数量相等。可根据每一读写元件的电阻作用一不同的力于所述长形条的相应位置。