[发明专利]玻璃基板制造方法

权利要求书

1.一种玻璃基板制造方法，其包括如下步骤：

成形步骤，其藉由下拉法将熔融玻璃成形为平板玻璃，以及

冷却步骤，其将上述平板玻璃冷却；并且，

上述冷却步骤包括如下步骤：

第1冷却步骤，其以第1平均冷却速度将上述平板玻璃的中央区域的温度冷却至缓冷点，

第2冷却步骤，其以第2平均冷却速度将上述中央区域的温度自上述缓冷点冷却至应变点-50℃，以及

第3冷却步骤，其以第3平均冷却速度将上述中央区域的温度自上述应变点-50℃冷却至上述应变点-200℃；

上述第1平均冷却速度为5.0℃/秒以上，

上述第1平均冷却速度高于上述第3平均冷却速度，

上述第3平均冷却速度高于上述第2平均冷却速度。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板制造方法，其中，

上述第2冷却步骤包括：

第3温度控制步骤，其使上述平板玻璃的宽度方向的端部与中央部的温度梯度随着接近玻璃应变点附近而减小。

3.根据权利要求1或2所述的玻璃基板制造方法，其中，

上述第3冷却步骤包括：

第4温度控制步骤，其使上述平板玻璃的宽度方向的温度自上述平板玻璃的宽度方向的端部向中央部下降。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的玻璃基板制造方法，其中，

上述第2平均冷却速度为0.5℃/秒～5.5℃/秒，

上述第3平均冷却速度为1.5℃/秒～7.0℃/秒。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的玻璃基板制造方法，其中，

藉由上述冷却步骤冷却的上述平板玻璃具有100ppm以下的热收缩率。

6.根据权利要求1至5中任意一项所述的玻璃基板制造方法，其中，

上述冷却步骤进而包括：

温度梯度控制步骤，其沿着上述平板玻璃的流动方向控制上述平板玻璃的宽度方向的温度梯度。

7.根据权利要求6所述的玻璃基板制造方法，其中，

藉由上述冷却步骤冷却的上述平板玻璃具有1.0nm以下的应变值。

8.根据权利要求6或7所述的玻璃基板制造方法，其中，

藉由上述冷却步骤冷却的上述平板玻璃具有0.15mm以下的翘曲值。

9.根据权利要求6至8中任意一项所述的玻璃基板制造方法，其中，

藉由上述冷却步骤冷却的上述平板玻璃具有15μm以下的板厚偏差。

10.根据权利要求1至9中任意一项所述的玻璃基板制造方法，其中，

在上述冷却步骤中，使上述平板玻璃通过沿上述平板玻璃的流动方向设置的多个冷却室，由此进行冷却，

上述冷却室具有：设置有冷却装置的第1冷却室；以及设置有加热装置的第2冷却室。

11.根据权利要求10所述的玻璃基板制造方法，其中，

上述第1冷却步骤的至少一部分在上述第1冷却室进行，

上述第2冷却步骤以及上述第3冷却步骤的至少一部分在上述第2冷却室进行。