[发明专利]光基板、光基板的制造方法以及光模块结构有效
申请号: | 201310098784.1 | 申请日: | 2013-03-26 |
公开(公告)号: | CN103744146A | 公开(公告)日: | 2014-04-23 |
发明(设计)人: | 安田裕纪;石川浩史;平野光树 | 申请(专利权)人: | 日立金属株式会社 |
主分类号: | G02B6/42 | 分类号: | G02B6/42 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 钟晶;於毓桢 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光基板 制造 方法 以及 模块 结构 | ||
1.一种光基板,其具备:形成有狭缝状的光纤容纳部的板状的由树脂形成的基材、形成于所述基材的表面的金属层、将在容纳于所述光纤容纳部的光纤内传输的光反射的反射层,
在所述基材中,相对于所述表面倾斜了的倾斜面形成于所述光纤容纳部的终端,
所述反射层沿着所述金属层的成为连续于所述倾斜面而形成的平面的端面以及所述倾斜面而形成。
2.根据权利要求1所述的光基板,其中,所述光纤容纳部以与所述倾斜面相对于所述基材的表面的倾斜角对应的角度从所述金属层侧照射激光而形成。
3.根据权利要求1或2所述的光基板,其中,所述反射层的最表面由金(Au)镀敷。
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的光基板,其进一步具备:形成于所述表面的由金属形成的布线图案、形成于所述基材的背面的背面侧金属层,
所述布线图案与所述背面侧金属层通过所述反射层而被电连接。
5.根据权利要求1至4中的任一项所述的光基板,其中,所述光纤通过焊料而固定于所述光纤容纳部内。
6.一种光模块结构,其具备:权利要求1至5中的任一项所述的光基板、将以所述光纤作为传输介质的光信号与电信号进行转换的光电转换元件。
7.一种光基板的制造方法,其具有如下工序:
在板状的由树脂形成的基材的表面形成第1金属层的工序,
将所述基材的一部分与其表面的所述第1金属层一同去除,从而在所述基材上形成狭缝状的光纤容纳部的工序,
在所述第1金属层的端面以及所述光纤容纳部的终端的倾斜面形成反射层的工序。
8.根据权利要求7所述的光基板的制造方法,其在形成所述光纤容纳部的工序之后进一步具有如下工序:在所述第1金属层以及所述倾斜面之上形成第2金属层的工序,将所述第1金属层以及第2金属层的一部分蚀刻而在所述表面形成布线图案的工序。
9.根据权利要求7或8所述的光基板的制造方法,形成所述光纤容纳部的工序为以相对于所述基材的所述表面倾斜了的角度照射激光的工序。
10.根据权利要求7或8所述的光基板的制造方法,其中,
形成所述光纤容纳部的工序是:使用调节了所述激光的透射率的荫罩,相对于所述基材的所述表面垂直地照射所述激光的工序。
11.根据权利要求7或8所述的光基板的制造方法,其中,形成所述光纤容纳部的工序是:通过机械加工而形成所述端面以及所述倾斜面的工序。
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