[发明专利]振动元件、振子、电子器件、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种振动元件，其包含基板，该基板以厚度剪切振动进行振动，并包含处于正反关系的第1主面和第2主面，其特征在于，该振动元件包含：

第1激励电极，其设置在所述第1主面上，包含与假想的四边形内切的边或圆周；以及

第2激励电极，其设置在所述第2主面上，

在设所述四边形的面积为S1、所述第1激励电极的面积为S2时，满足如下关系：

87.7％≤(S2/S1)＜95.0％，

在俯视时，所述第1激励电极处于所述第2激励电极的外缘内，且所述第1激励电极的形状与所述第2激励电极的形状不同，

在俯视时，所述第2激励电极比所述四边形大，且满足如下关系：

Δ＝(fs-fe)/fs

fs＝R/[ts+te2×(ρe/ρ×)]

fe＝R/[ts+te×(ρe/ρ×)]

15.5≤M≤36.7

其中，M是能量封闭系数，K是基板的各向异性系数，hx是所述第1激励电极的沿着厚度剪切振动方向的长度，ts是所述基板的厚度，△是频率降低量，fs是所述基板的截止频率，fe是在所述基板上配置了所述激励电极时的频率，R是所述基板的频率常数，te是所述第1激励电极和所述第2激励电极的厚度总和，te2是所述第2激励电极的厚度，ρe是所述激励电极的密度，ρx是所述基板的密度。

2.根据权利要求1所述的振动元件，其特征在于，

所述第1激励电极是切除所述四边形的至少三个角后的形状。

3.根据权利要求2所述的振动元件，其特征在于，

所述振动元件包含引线电极，该引线电极从所述第1激励电极的外缘中的、所述切除的区域以外的外缘延伸地设置。

4.根据权利要求1所述的振动元件，其特征在于，该振动元件满足

17.1≤M≤35.7。

5.根据权利要求1所述的振动元件，其特征在于，

在设所述第1激励电极的沿着与厚度剪切振动方向垂直的方向的长度为hz时，该振动元件满足：

1.25≤hx/hz≤1.31。

6.根据权利要求2所述的振动元件，其特征在于，

所述基板是石英基板。

7.根据权利要求6所述的振动元件，其特征在于，

所述石英基板是AT切石英基板。

8.一种振子，其特征在于，该振子具有：

权利要求2所述的振动元件；以及

收纳所述振动元件的封装。

9.一种电子器件，其特征在于，该电子器件具有：

权利要求2所述的振动元件；以及

驱动所述振动元件的振荡电路。

10.一种电子设备，其特征在于，该电子设备具有权利要求2所述的振动元件。

11.一种移动体，其特征在于，该移动体具有权利要求2所述的振动元件。