[发明专利]一种TiCuN纳米复合涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201310098484.3 | 申请日： | 2013-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN103160783A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 赵彦辉;于宝海;于传跃;赵鹏 | 申请（专利权）人： | 沈阳金锋特种刀具有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/38 |
| 代理公司： | 沈阳科威专利代理有限责任公司 21101 | 代理人： | 王勇 |
| 地址： | 110004 辽宁省沈阳市*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 ticun 纳米 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种TiCuN纳米复合涂层，它包括基体，其特征在于：在基体表面依次是TiCu膜形成的过渡层和TiCuN层。
2.制备权利要求1所述的一种TiCuN纳米复合涂层的方法，其特征在于：
（1）镀过渡层：采用钛铜合金靶，当真空室内真空度达到5×10-3Pa~1×10-2Pa时，对真空室加热至300~500oC；向真空室通入氩气，设定所需的气体流量为20～200sccm，气压控制在0.5～2Pa之间；基体加脉冲负偏压在-500～-1000V范围，使气体发生辉光放电，对样品进行辉光清洗5～30分钟；调整氩气流量，使真空室气压为0.3～0.8Pa，同时开启钛铜合金靶弧源，弧电流为80～100A，对样工件继续进行Ti+及Cu+轰击1～5分钟；调脉冲负偏压至-300V～-600V，沉积TiCu膜即过渡层1~5分钟；
（2）镀TiCuN层：停氩气，通氮气，氮气流量控制在10～200sccm，设定气压为0.1～1Pa范围；对基体施加脉冲负偏压-300V～-900V；调制靶电流为70～80A，沉积时间为30~120分钟；
（3）沉积结束后，迅速停弧、停基体脉冲负偏压、停止通入气体，继续抽真空，工件随炉冷却至50℃以下。
3.根据权利要求2所述的一种TiCuN纳米复合涂层的制备方法，在所使用的钛铜合金靶的靶材中，铜的含量为5-15%。
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