[发明专利]加盖装置

说明书

技术领域

本发明涉及在底座（stem）安装盖的加盖（capping）装置。

背景技术

在光半导体装置的制造中，在对底座安装盖时使用加盖装置（例如参照专利文献1）。在加盖装置中，通过使用了摄影机（camera）的图像识别来对盖和底座进行位置对准。

图13是表示摄影机视野和搜索范围的图。在存在检测对象的搜索范围比摄影机的视野宽广的情况下，需要在摄影机的视野内使检测对象移动。图14是表示现有的搜索方法的图。像这样以将搜索开始点作为中心的涡旋状的轨迹对检测对象进行搜索。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平5–67690号公报。

发明要解决的课题

在如图14的左侧那样检测位置的分布是同心圆状的正态分布的情况下，利用涡旋状的轨迹能够高效率地进行搜索。可是，在如图14的右侧那样不是同心圆状的分布的情况下，利用涡旋状的轨迹不能高效率地进行搜索。

此外，存在检测位置的分布与根据材料族（组）设想的分布不同的情况。在预先设定的初始的搜索开始点与实际检测出的检测位置的分布的中心不同的情况下，存在搜索时间延长的问题。

此外，在根据检测对象的位置分布改变搜索工作的情况下，需要按每个搜索工作制作对应的控制程序。因此，装置的控制程序复杂化。

发明内容

本发明是为了解决上述那样的课题而完成的，其第一目的在于获得一种能够缩短搜索时间的加盖装置。第二目的在于获得一种能够将控制程序共用的加盖装置。

用于解决课题的方案

本发明提供一种加盖装置，其特征在于，具备：移动部，使装载有光半导体元件的底座在水平方向上移动；固定部，在所述底座上盖有带窗口的盖的状态下对所述盖进行固定；摄影机，从上方对所述盖及所述底座进行摄影；检测部，对在所述摄影机的视野内是否存在所述光半导体元件进行检测；以及搜索工作控制部，控制所述移动部来使所述底座移动，以使所述检测部进行搜索所述光半导体元件的搜索工作，所述搜索工作控制部将搜索开始点作为起点，以辐射状向外的方式进行搜索工作。

发明效果

利用本发明，能够缩短搜索时间。

附图说明

图1是表示本发明实施方式1的加盖装置的立体图。

图2是表示装载有光半导体元件的底座的剖面图。

图3是表示本发明实施方式1的控制电路的框图。

图4是表示X方向的搜索工作的图。

图5是表示Y方向的搜索工作的图。

图6是表示组合了X方向和Y方向的搜索工作的图。

图7是表示搜索开始点与检测位置的分布的图。

图8是表示本发明实施方式2的控制电路的框图。

图9是表示配置图的一例的图。

图10是表示表格的一例的图。

图11是表示记载有分配A的搜索顺序的配置图的图。

图12是表示记载有分配B的搜索顺序的配置图的图。

图13是表示摄影机视野和搜索范围的图。

图14是表示现有的搜索方法的图。

具体实施方式

参照附图对本发明实施方式的加盖装置进行说明。对同样的或对应的结构要素赋予相同的附图标记，有省略重复说明的情况。

实施方式1.

图1是表示本发明实施方式1的加盖装置的立体图。图2是表示装载有光半导体元件的底座的剖面图。激光二极管等的光半导体元件1被装载在底座2上。加盖装置对该底座2安装带窗口3（透镜）的盖4。盖4是筒状，在其内部内置有光半导体元件1。能够经由盖4的窗口3从上方观察盖4内的光半导体元件1。

X轴方向移动部5使装载有光半导体元件1的底座2在水平X轴方向上移动，Y轴方向移动部6使该底座2在水平Y轴方向上移动。这时固定部7在底座2上盖有盖4的状态下对盖4进行固定。被固定的CCD摄影机8从上方对盖4及底座2进行摄影。控制装置9根据CCD摄影机8所摄影的影像对X轴方向移动部5及Y轴方向移动部6进行控制。

图3是表示本发明实施方式1的控制电路的框图。检测部10对CCD摄影机8的视野内是否存在光半导体元件1进行检测。搜索工作控制部11控制X轴方向移动部5及Y轴方向移动部6使底座2移动，以使检测部10进行搜索光半导体元件1的搜索工作。当光半导体元件1进入到CCD摄影机8的视野内并且检测部10检测出光半导体元件1时，搜索工作控制部11结束搜索工作。