[发明专利]用于化学机械抛光系统的载具头

权利要求书

1.一种用于化学机械抛光系统的载具头，其特征在于，包括：

基座；

连接于基座的下侧部分的基板接收构件，所述基板接收构件具有外表面倚靠所述外表面基板可被安装；

位于基板接收构件内侧并与基座的下侧部分连接的至少两个气囊，其中所述至少两个气囊可通过膨胀和接触内表面独立的施加压力于基板接收构件的内表面的预定区域；和

连接于基座的下侧部分的至少一个墙壁结构，其中所述至少一个墙壁结构可限制所述至少两个气囊的横向膨胀。

2.根据权利要求1所述的载具头，其特征在于，所述基板接收构件包括平板部分，周边部分，和固定部分。

3.根据权利要求2所述的载具头，其特征在于，所述平板部分包括第一平板和连接于第一平板上部表面的第二平板。

4.根据权利要求3所述的载具头，其特征在于，所述第二平板由具有比第一平板更高硬度的材料制成。

5.根据权利要求1所述的载具头，其特征在于，所述预定区域可被划分为内表面的中心区域和边缘区域每一集在中心区域和边缘区域之间的中间区域。

6.根据权利要求1所述的载具头，其特征在于，所述至少两个气囊的数量为2到12个。

7.根据权利要求1所述的载具头，其特征在于，所述至少两个气囊由柔性材料制成。

8.根据权利要求7所述的载具头，其特征在于，所述柔性材料为橡胶。

9.根据权利要求1所述的载具头，其特征在于，所述至少两个气囊分别的通过至少一个气囊夹具连接于基座的下侧部分。

10.根据权利要求9所述的载具头，其特征在于，所述至少一个气囊夹具和至少一个墙壁结构为整体的成形为一体。

11.根据权利要求1所述的载具头，其特征在于，所述至少两个气囊通过在所述至少两个气囊被夹持于连接构件之后固定所述连接构件到基座来被连接至基座的下侧部分。

12.根据权利要求1所述的载具头，其特征在于，进一步包括可限制基板接收构件的周边部分和位于所述至少两个气囊之中的内表面的边缘区域上的气囊之间的接触的墙壁结构。

13.根据权利要求1所述的载具头，其特征在于，位于所述至少两个气囊之中的内表面的边缘区域上的气囊的固定部分向外延伸。

14.根据权利要求1所述的载具头，其特征在于，所述至少一个墙壁结构通过在所述至少一个墙壁结构被夹持于连接构件之后固定连接构件到基座被连接于基座的下侧部分。

15.根据权利要求14所述的载具头，其特征在于，所述至少一个墙壁结构和连接构件被整体的成形为一体。

16.根据权利要求1所述的载具头，其特征在于，所述至少一个墙壁结构可进一步限制在所述至少两个气囊之中的两个毗邻气囊之间的接触。

17.用于化学机械抛光系统的载具头，其特征在于，包括：

基座；

连接于基座的下侧部分的基板接收构件，所述基板接收构件具有外表面倚靠所述外表面基板可被安装；

位于基板接收构件内侧并与基座的下侧部分连接的气囊，其中所述气囊可通过膨胀和接触内表面独立的施加压力于基板接收构件的内表面的预定区域；和

连接于基座的下侧部分的至少一个墙壁结构，其中所述至少一个墙壁结构可限制所述气囊的横向膨胀。

18.在用于化学机械抛光系统的载具头中使用的基板接收构件，其特征在于，包括：

提供用于接收基板的外表面的平板部分；

自平板部分延伸的垂直周边部分，其中垂直周边部分形成相对于平板部分有84°到96°的角；和

自垂直周边部分延伸的倾斜周边部分，其中所述倾斜周边部分向外延伸形成相对于垂直周边部分有6°到40°的角。

19.根据权利要求18所述的基板接收构件，其特征在于，所述垂直周边部分的硬度大于所述倾斜周边部分。