[发明专利]一种准单晶硅太阳能电池的制备方法有效
| 申请号: | 201310095972.9 | 申请日: | 2013-03-22 |
| 公开(公告)号: | CN103165753A | 公开(公告)日: | 2013-06-19 |
| 发明(设计)人: | 石强;韩玮智;牛新伟;蒋前哨;李永辉;仇展炜 | 申请(专利权)人: | 浙江正泰太阳能科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京汉昊知识产权代理事务所(普通合伙) 11370 | 代理人: | 冯谱 |
| 地址: | 310053 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 单晶硅 太阳能电池 制备 方法 | ||
1.一种准单晶硅太阳能电池的制备方法,其中,
a)对准单晶硅片进行分类;
b)根据不同的分类选择制绒方法,对所述准单晶硅片的正面进行制绒;
c)在所述硅片正面形成P扩散层,然后去除所述硅片正面的PSG和周边P扩散层;
d)在所述硅片正面形成减反膜;
e)在所述硅片背面形成背电极和铝背场;
f)在所述硅片正面形成正电极。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其中,所述步骤a)包括:
a1)根据单晶含量将准单晶硅片分为A类和B类;
a2)采用在线少子寿命检测方法,获取所述准单晶硅片的少子寿命,根据所述准单晶硅片的少子寿命进一步将所述A类准单晶硅片分为Ⅰ类和Ⅱ类,将所述B类准单晶硅片分为Ⅲ类和Ⅳ类。
3.根据权利要求2所述的制备方法,其中,所述A类准单晶硅片中的单晶含量为80%~100%。
4.根据权利要求2所述的制备方法,其中,所述B类准单晶硅片中的单晶含量为30%~80%。
5.根据权利要求2所述的制备方法,其中,所述A类准单晶硅片的少子寿命为20微秒~100微秒。
6.根据权利要求2所述的制备方法,其中,所述B类准单晶硅片的少子寿命为0.1微秒~20微秒。
7.根据权利要求2所述的制备方法,其中,所述步骤a2)中,
在所述A类准单晶硅片中,当少子寿命大于60微秒且小于100微秒时,所述A类准单晶硅片定义为Ⅰ类,当少子寿命小于60微秒且大于20微秒时,所述A类准单晶硅片定义为Ⅱ类;
在所述B类准单晶硅片中,当少子寿命大于10微秒且小于20微秒时,所述B类准单晶硅片定义为Ⅲ类,当少子寿命小于10微秒且大于0.1微秒时,所述B类准单晶硅定义为Ⅳ类。
8.根据权利要求2所述的制备方法,其中,所述Ⅰ类准单晶硅片的平均少子寿命是Ⅱ类准单晶硅片的平均少子寿命的1.2~10倍。
9.根据权利要求2所述的制备方法,其中,所述Ⅲ类准单晶硅片的平均少子寿命是Ⅳ类准单晶硅片的平均少子寿命的1.2~10倍。
10.根据权利要求2所述的制备方法,其中,所述步骤b)具体包括以下步骤中的至少一个步骤:
b1)对Ⅰ类准单晶硅片进行碱制绒;
b2)对Ⅱ类准单晶硅片和/或Ⅳ类准单晶硅片进行干法制绒;
b3)对Ⅲ类准单晶硅片进行酸制绒。
11.根据权利要求10所述的制备方法,其中,碱制绒时的碱性化学品浓度为1%~10%,反应温度为60℃~100℃。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





