[发明专利]石墨烯的制备方法有效
| 申请号： | 201310095447.7 | 申请日： | 2013-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN103172059A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 张竞存;钟海舰;徐科 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | C01B31/04 | 分类号： | C01B31/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石墨 制备 方法 | ||
1.一种石墨烯的制备方法，该方法包括：
S1、在第一类金属催化剂层上制备碳薄膜；
S2、蒸发第二类金属使其掺杂入所述第一类金属催化剂层以形成合金，所述合金的熔点小于所述第一类金属催化剂的熔点；
S3、蒸发合金获得石墨烯层。
2.根据权利要求1所述的石墨烯的制备方法，其特征在于，步骤S1、S2所述的蒸发采用化学气相沉积工艺，其工艺条件为：在惰性气体和氢气的混合气氛中，并在700~1000 °C的高温下进行保温退火5~30分钟。
3.根据权利要求2所述的石墨烯的制备方法，其特征在于，惰性气体的流量范围是1000~2000 slm；氢气的流量范围是100~500 slm。
4.根据权利要求1所述的石墨烯的制备方法，其特征在于，所述第一类金属催化剂层为Ni。
5.根据权利要求1或4所述的石墨烯的制备方法，其特征在于，所述第二类金属为Ga。
6.根据权利要求1所述的石墨烯的制备方法，其特征在于，所述第一类金属催化剂层的厚度为100~500nm。
7.根据权利要求1或6所述的石墨烯的制备方法，其特征在于，制备第一类金属催化剂层的方法包括电子束蒸发、磁控溅射和脉冲激光沉积的其中之一。
8.根据权利要求5所述的石墨烯的制备方法，其特征在于，所述碳薄膜的厚度为2~10nm。
9.根据权利要求1所述的石墨烯的制备方法，其特征在于，该方法还包括步骤：将石墨烯层在去离子水中超声0.5~5分钟，使石墨烯层与其下方的合金层分离。
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