[发明专利]半导体行业工厂节水用水系统无效
| 申请号： | 201310095394.9 | 申请日： | 2013-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN103145268A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 丁少华;孙叶凤 | 申请（专利权）人： | 上海华强环保设备工程有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/04 | 分类号： | C02F9/04 |
| 代理公司： | 上海浦东良风专利代理有限责任公司 31113 | 代理人： | 陈志良 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体 行业 工厂 节水 水系 | ||
【权利要求书】：
1.一种半导体行业工厂节水用水系统，其特征在于：所述的节水用水系统首先对原水采用离子交换剂作软化处理，经软化后的水进入超纯水UPW系统，大部分制成超纯水供企业半导体生产用水；超纯水UPW系统的排水进入第一收集槽后分为三路利用，一路供企业冷却塔系统补水用，一路供企业生活区冲厕所用，还有一路供给预处理过滤器的反冲洗用，所述半导体生产用水经使用后的排水进入第二收集槽进行膜过滤将固液分离，膜过滤后的水回收作为超纯水UPW系统中的第二级反渗透器补给水。
2.根据权利要求 1 所述的半导体行业工厂节水用水系统，其特征在于：所述固液分离用的膜过滤器为管式或者平板式超滤膜过滤器，膜过滤后的排泥水再进行压滤机处理，处理后的水进入第二收集槽，膜过滤后的清水返回超纯水UPW系统。
3.根据权利要求 1 所述的半导体行业工厂节水用水系统，其特征在于：所述对原水进行软化处理的离子交换剂为强酸阳离子树脂，经软化处理后的水作为制备超纯水UPW系统的给水，使其进入超纯水UPW系统后的排水扩展利用的渠道。
4.根据权利要求 1 所述的半导体行业工厂节水用水系统，其特征在于：所述企业冷却塔系统补给用水经过水质稳定剂处理后再供给冷却塔，所述水质稳定剂的投加量为80-120mg/L。
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